PZT铁电薄膜介电性能数字锁相测试技术.pdfVIP

维普资讯 第26卷第4期 仪 器 仪 表 学 报 2005年4月 PZT铁电薄膜介电性能的数字锁相测试技术 李 磊 鲁 健 褚家如 平志明 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 合肥 230027) 摘要 在 DSP上实现的数字锁相测试系统，采用数字锁相算法来完成对信号的锁相测试 。基于该系统开发 出了简单、可靠、 可调性好并具有较高精度的PZT铁电薄膜介电性能测试系统 。实验表明，使用该系统测得 的样品介电常数的相对误差小于 1 ，能够满足 PZT铁电薄膜制备技术以及微机电系统 中器件设计对薄膜性能测试的要求。 关键词 数字锁相测试 DSP PZT铁 电薄膜 MEMS 中图分类号 TH871 文献标识码 A 国家标准学科分类与代码 430．25 DigitalPhase-·sensitiveDetection-‘basedM easurementTechnology forPZT Film DiectricProperties Ii Lei Lu Jian ChuJiaru PingZhiming (DepartmentofPrecisionMath‘ineryandPrecisionInstrumentation， UniversityofScienceandTechnology China，Hefei230027，China) Abstract PZT film iSoneofthemostusefulfunctionalmaterialsandhasbeenverywidelyusedinMEM S．Soit isimportanttomeasurethediectricpropertiesofthePZT film accuratelyandquickly．A measurementsystem based on digitalphase—sensitivedetectionhasbeen constructedforPZT film diectricproperties．Thedigital phase—sensitivedetectionalgorithm andthesystem constructionarediscussed．Theperformanceofthesystem is alsodiscussed．Comparedwithacommerciallock—inamplifier。therelativeerroroftheactualmeasurementof homemadePZT filmsiSlessthan 1 ． Keywords Digitalphase—sensitivedetection DSP PZT film MEMS 膜的性能差别很大 ，而且同一种方法在不同工艺条件下 l 引 言 得到的PZT铁电薄膜，其性能也有较大差别 。另外， 对微器件加工过程 中微小PZT图形的性能测试 ，也对 Pb(Zr．Ti)()。(PZT)作为一种性能优异的铁 电材 测试装置的灵敏度以及分辨率提出了更高的要求。因 料 ，早 已应用于非挥发性动态随机存储器的制作 。近 此 ，PZT铁电薄膜的性能测试技术研究已成为PZT铁 年来 ，随着微机 电系统技术 的发展，PZT铁 电薄膜因 电薄膜制备技术研究以及基于PZT铁电薄膜的微型传 为具有高的压 电常数和高机电耦合系数等优点而受到 感器与微型驱动器设计中的关键问题之一。 青睐，被认为是微机电系统中最有