扩散单元上下料设备解决方案.pdfVIP

罗克韦尔自动化行业解决方案 扩散单元上下料设备解决方案 系统优势 ● 无缝集成功能 各设备集成 ： Ethernet/IP工业以太网端口 采 ， 用未修改协议栈的Ethernet/IP作 为通信骨干网络 不仅节省了硬 ， 件成本 而且通过套接字编程 ， ， 可以非常容易的连接到设备的主 机系统或厂级的控制系统 支持 ， SEMI-E5 SEMI-E37标准 、 ； ● 安全性与可用性 驱动器的安全 ： 力矩关断功能 不切断驱动器电 ， 源的条件下实现关断力矩输出 在半导体与光电行业 产品的加工要经过许多相对独立的工艺设备 因此涉 ， ， ， 及到半成品要多次从待加工料盒中取出 然后在加工完成后装回到料盒中 当满足生产条件时 能够快速的 ， 。 ， 如太阳能CELL 工段的扩散设备上 每个扩散舟需要背对背的插入与取出成 恢复生产 在保障安全运行的前 ， ， 百片数的硅晶片衬底 衬底薄而脆 且表面不能被污染 通过在扩散单元增 提下 提高生产率 ， ， ， ， 。 加上下料设备 可显著提高生产效率与产品良率 该方案中采用Kinetix300 ， 。 ● 模块化编程 Power （ 型伺服控制器对插片或取片位置进行定位 料盒的运送则采用可调速变频 ； programing 不仅使程序简 控制powerflex525，变频器之间联动控制将机械连接同步变成电子信号同 ）： 步 实现平稳传送 设备预留了开放的操作空间 为防范对人员造成伤害 避 洁 可读性与可移植性增强 而 ， ； ， ， ， ， 免带来不必要的损失 方案设计时融入了安全控制功能 如带安全力矩关断 且设备的顺序控制与状态信息 ， ， 的伺服与变频驱动器 安全继电器 安全急停开关等 为OEM 厂商提升了设 一目了然 从而大大缩短了编 、 、 ， ， 备竞争力 也受到了最终用户的高度认可 程 调试及连线的时间 ， ！ 、 ！ . 主要产品规