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多晶硅生产尾气的回收再利用工艺概述 张雪华 (盐城师范学院化学化工学院，江苏盐城224051) 摘要：本文综述多晶硅生产尾气回收分离再利用的工艺方法，探讨冷冻法与吸附分离法的优缺点，实现多晶硅的绿色 生产。 关键词：多晶硅；尾气；绿色生产 多晶硅是单质硅的一种形态，广泛的应用于制造 排措施。 硅抛光片、太阳能电池及高纯硅等，是电子信息产业 在多晶硅生产过程中，尾气主要来源于siHCl，合 和太阳能光伏产业的主要的基础功能材料，是硅产业 链中一个比较重要的中间产品[1】。随着全球市场对多 晶硅的需求快速增长，科技技术的不段创新，要求多 Sicl4，通过物理和化学的方法使之分离，经过提纯后 晶硅生产这个高耗能、高污染行业的向环保、节能方 再应用于生产中实施了闭路循环技术。多晶硅尾气分 向的转型。尾气回收再利用就是一个比较好的节能减 离回收工艺主要有冷冻法和吸附分离法。冷冻法是最 定理5【2】设{Ⅳ(f)，f≥O)是强度函数为入(f)的即可。此种情形于文献【05]有详细过程，故略。 非齐次Possion过程，在』v(f)=n及第丘个顾客到达时 设翻，№，…，‰是埘个不同实数，在定理5中，若E 刻踮肛(k=1，2，…，n)的条件下，其余n一1个到达时 刻s1，．一，5㈨1，．一，S的条件分布的概率密度为 参数为人；的齐次泊松过程，则 厂(‘，．．．，吒书t巾…，，。1％=∥) ‘1 2：：：墨!垒=12墨f垒：!!：：：墨(垒! 与分布为仞(‘)=等，江l，…，聊}的复合泊松过程。 ：(墨二!!!【!二生!!墨【1 ’ 定理7设xl，x2，…，x。是m个不同实数，』v。(￡)， [m(∥)]扣1[m(，)一聊(p)]”2 Ⅳ2(f)，…，Ⅳm(f)是相互独立参数为人，的齐次泊松过 O‘…‘一i，z‘+l．．．fH， (露=l…棚)． 3复合Possion过程的条件分布 条件下，Ⅳ，(f)，Ⅳ2(f)，…，Ⅳlf)服从参数为(玎；每，等，…，年) 的多项分布。 设{Jv(f)，f≥o)是参数为入的齐次泊松过程，{乩 证明：对f≥0，s(f)是复合泊松分布，此种情形于 仁1，2，…)是一族独立同分布的随机变量，{』v(f)，f≥0) 文献[04]有详细过程，故证明略。 与{yJ，j≥1)是独立的，x(f)=∑×，称(x(f)，f≥o)为复 合泊松过程。 参考文献： 定理6设S1(￡)，S2(f)，…，5m(f)是m个独立的 [01]s．M．Ross．随机过程【M】．北京：中国统计出版社，1997． [02】何声武．随机过程引论[M1．大连：高等教育出版社，1999． 过程，S(￡)是参数为入i的(N(￡)，f≥o)与分布函数为E 【03】孟玉珂．排队论及其应用．同济大学出版社，1989． (x)的复合泊松过程(仁1，…，m)，5(f)=s1(f)+52(f)+…