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纳米材料与结构 辩 NanomateriaI＆ Structure Nb掺杂TiO2纳米管的制备及其氢敏特性 白 硕 ，丁冬雁 ，宁聪琴 ，秦 锐 ，常程康 ，李 明 毛 大立 (1．上海交通大学 材料科学与工程学院 微电子材料与技术研究所 金属基复合材料 国家重点实验室，上海 200240；2．中国科学院 上海硅酸盐研究所 高性能陶瓷和超微结构 国家重点实验室，上海 200050) 摘要：以Ti35Nb合金为基材，通过阳极氧化和 中温热处理制备 了Nb掺杂 TiO 纳米管阵列。 通过掩模版和磁控溅射技术在纳米管阵列表面形成了Pt电极，随后在低浓度 H 气氛中测试 了 Nb掺杂 Tio：纳米管阵列的氢敏性能。实验结果表明阳极氧化温度是影响纳米管生长的一个重 要因素，在 阳极氧化电压为 15V和阳极氧化温度为30℃的条件下可以获得均匀开 口的非晶纳米 管阵列。将非晶纳米管在 450℃热处理后可 以获得锐钛矿结构纳米管阵列。氢传感实验结果表 明，Nb掺杂Ti02纳米管对低浓度气氛具有室温氢敏特性。以上实验结果表 明，通过合金化设 计和阳极氧化可以制备出具有室温氢传感特性的掺杂纳米管阵列。 关键词 ：氢气传感器；氧化钛 ；纳米管；阳极氧化 ；掺杂效应 中图分类号 ：TB383；TP212 文献标识码：A 文章编号 ：1671—4776 (2010)03—0147—05 FabricationandHydrogenSensingPropertiesof BaiShuo ，DingDongyan ，NingCongqin ，QinRui，ChangChengkang ，LiMing ，MaoDali (1．StateKeyLaboratoryofMetalMatrixComposites，InstituteofMicroelectronicMaterialsandTechnology， SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China； 2．StateKeyLaboratoryofHighPerformanceCeramicsandSuperfineMicrostructure，ShanghaiInstituteof Ceramics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) 、 Abstract：W ith Ti35Nb alloy asa substrate，Nb—dopedTiO2nanotubearrayswerefabricated throughtheanodizationandmid_temperatureheat—treatment．ThePtelectrodewasfabricatedon thesurfaceofthenanotubearraysthroughthemaskandsputteringtechnique．Hydrogensensing propertiesoftheNb—dopedTiO2nanotubearraysweretestedinthedilutehydrogenatmosphere． Experimentalresultsindicatethattheanodizationtemperaturehasagreatimpactontheformation ofuniform nanotubes．Underan anodizationvoltageof15V and anodization temperatureof 30℃ ，thenoncrystallinenanotubearrayswithuniform opencouldbefabricated．Then