强流辐照钛合金表面特征的原子力显微研究.pdfVIP

第 3O卷 第 1期 物 理 实 验 VoI_3O No．1 2010年 1月 PHYSICSEXPERIM ENTATION Jan．，2010 强流辐照钛合金表面特征的原子力显微研究 李明娟 ，刘伟波 ，郭庆叶 (滨州学院 a．飞行学院；b．物理与电子科 学系，山东 滨州 256603) 摘 要 ：利用原子力显微术的轻敲模式 (TM-AFM)，并采用形貌与相位同时成像技术对强流脉冲离子柬 (IPIB)辐 照前后试样表面进行了系统标征，得到了试样表面的高度像及相位像的衬度。分析结果表明：在高流强密度、多次脉冲 条件下，IPIB辐照可使试样表面变得光滑化 ，从相位像 中可 以定性分析 出辐照后表面硬度也得到一定程度 的提高． 关键词 ：强脉冲离子束；钛合金 ；表面 ；原子力显微镜 中图分类号：0572 文献标识码 ：A 文章编号：1005-4642(2010)01—0009—05 自由振动的微悬臂 ，其弹性劲度系数为 l 引 言 k一 c￡，， (1) 近年来 ，强流脉冲离子束 (简称 IPIB)在能量 其中， 为质量，。为共振频率．得到微悬臂 自 密度处于中低水平时(1OJ／em。)被用作材料表 由振动和样品表面发生作用时的相位变化量为 面处理的一个有力工具 1．]．IPIB辐照致使金属材 △ ≈ ／是 ， (2) 料表面经历快速升温 (约 10“K／s)、熔 融、汽化 、 其中，Q为品质因数，一∑ ，Z是探针针尖 烧蚀以及短脉冲( 1 s)过后的冷却 (10。K／s) i 一 与样品的距离． 重凝固化，从而在材料表面与体 内产生很大的温 因此，当作用在针尖上的力为斥力时 ，△ 为 度梯度 (10。K／m)及 热应力 ，以致在靶材 中形成 正值，反之为负值．Sarid等口在对 TM—AFM模 应力波甚至冲击波等一系列非平衡态过程 ，从而 式成像过程中针尖与样 品问的作用力进行数值计 导致材料表面形貌及微结构的变化． 算时发现，相位变化量 的大小与针尖和样品的硬 原子力显微术在材料微结构与性 能的表征 度有关系．如果半径为 R的针尖 以斥力 F作用 方面有广泛 的应用[z-a]．原子力显微镜采集 的形 于一表面 ，导致半径为 n，深度为 d的接触表面 貌像的衬度主要来源于样品表面的高低起伏．所 时，表面硬度可表示为 以，形貌像实际是样 品表面的高度像．而相位像 的衬度变化不但与样品表面的高低起伏有关 ，还 S一 一e口E ， (3) a 口 依赖于试样表面不同组分物理性质的差异[33．因 其中，e为常数 ，E 为有效模量． 此 ，相应于形貌像得到的相位像可详细地反映试