极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析.pdfVIP

第31卷第7期 重庆工商大学学报(自然科学版) 2014年7月 Vo1．31 NO．7 JChongqingTechnolBusinessUniv．(NatSciEd) Ju1．2014 文章编号：1672-058X(2014)07-0085—05 极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析 易子为，曾 涛，孙 翔 ，程发银 (重庆工商大学 计算机科学与信息工程学院，重庆400067) 摘 要：使用matlab软件编程计算了钼／硅 多层膜的反射率随膜层数、波长及入射角等的变化．结果显 示，在极紫外波段，存在中心波长为 13．3nm和 17．2n／／l两个峰值反射波长，反射率分别达到73．1％和 53． 7％；两中心波长的最佳镀膜层数分别为 80和 60；两中心波长在入射角小于8。的近正入射情形均存在一个 反射率曲线平坦段． 关键词：极紫外多层膜；理想界面；反射率；模拟计算 中图分类号：0484．4 文献标志码 ：A 由于衍射，所有光学器件都存在一个分辨率极限，这个