传感器的现状和未来.pdfVIP

传 感 器 的现 状 和 未来 传感器 的现状和未来 北 京航 空 航 天 大学 自动 化 系 刘 广 玉 摘 要 当今传 感 器 的 明显发展趋 势是从传 统 的 传 感 器 些传感 器 , 因其功 能差 , 体积 大 , 已很 难 再满 足 要 求 而 】 设计 和应 用 转 向 以 微机械 加 工 技 术 为 基拙 的微传 感 器 将被 逐 渐淘汰 。 发 展 高性 能 的 、