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MEMS器件 白技术 MEMSDeviceTechnology 基于狄恩流的微混合器的研究 肖丽君 ，芦 琦，陈 翔李以贵，陈 迪 (上海交通大学 微纳科学技术研究院 微米 ／纳米加工技术 国家级重点实验室， 薄膜与微细技术教育部重点实验 室，上海200240) 摘要 ：所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合 器，该混合器的结构特点是 由多个不同 半径 的弯曲管道双螺旋而成 ，中部通过 “S”形管道将输入管道和输 出管道相连。首先分析 了狄 恩流形成的机理及特点，再通过流体计算软件 CFD-ACE十三维模拟并分析 了不同流速对二次流 强弱 以及混合程度的影响 ，最后利用微细加工技术制作微混合器，罗丹明 B溶液与去离子水用 作待混 液体 ，利用 ImageJ软件获取混合图像的灰度值来分析混合器的性能。 关键词 微混合 器；狄恩流；微管道 ；二次流；狄恩数 ；灰度值 中图分类号：TH703 文献标识码：A 文章编号 ：1671—4776 (2010)0卜0038—07 ResearchonM icrom ixersBased on DeanFlow XiaoLijun。LuQi，ChenXiang，LiYigui，ChenDi (NationalKeyLaboratoryofNano／MicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryforThinFilm andMicrofabricationofMinstryofEducation，InstituteofMicoandNanoScienceandTechnology， ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Thedesignedmicromixerwasapassiveonebasedon theprincipleofDeanflow． The mixerconsistsofseveralmicrochannelswithdifferentcurvatureradiusesandthesemicrochanne1s form themixerintheform ofdoublehelix．Theinputandoutputchannelswereconnectedbyan S_shapedchannelin thecenterofthemicromixer． Theformation mechanism andcharacteristics ofDeanflow wereanalyzed，andthentheeffectsofdifferentflow ratesonthestrongorweakof thesecondflow andmixingdegreewerethree——dimensionallysimulatedandanalyzedthroughcom_ mercia1computationalfluild calculation software CF )【-ACE +． Finally，themicromixerwas fabricatedbymicro—processingtechnology，Rhodam ineB solutionanddeionizedwaterwereused tOtestthemicromixer．ThegrayvaluesofpictureswereobtainedbyImageJsoftwaretoanalyze theperformancesofthem icrom ixer． Keywords：micromixer；Deanflow；microchannel；secondflow；Deannumber；grayvalue DOI：10．3969／j．issn．I671—4776．2010．01．009 EEACC：2575 流控芯片已经成为了人们研究的热点。微流控芯片 0