一种三维金属微型腔的组合加工方法.pdfVIP

第 8卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 V01．8 No．1 2010年 1月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jan． 2010 一 种三维金属微型腔的组合加工方法 刘 冲1,2，刘文涛 ，杜立群 ，莫顺培 (1．大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室，大连 116024； 2．大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室，大连 I16024) 摘 要：为 了制作局部为三维结构的金属模具微型腔，实验研究了一种组合加工新工艺，即先用紫外线光刻和电铸 成形 (准LIGA)技术在模具基底上制作二维金属微型腔，再用微细 电火花成形加工(EDM)技术对微型腔的局部进 行修形，得到局部为三维结构的微型腔 ，电火花修形的位置根据微型腔结构的设计要求而定．以制作聚合物微流控 芯片用的金属模具为试件，以微细电火花成形加工中影响工件表面粗糙度的因素分析为理论指导，应用该方法制 作了局部侧壁倾斜的三维微型腔．根据测量结果，两边侧壁与水平方向的夹角分别为49．6。和46．4。，倾斜侧壁的表 面粗糙度 R 为 0．39l m． 关键词：微细电火花加工；准LIGA；三维微型腔；表面粗糙度 中图分类号：TH16 文献标志码 ：A 文章编号：1672-6030(2010)Ol-0090-05 A CombinedFabricationProcessof3D MicroM etalM oldCavity LIU Chong ，LIU W en．tao ，DU Li—qun ，MO Shun—pei (1．KeyLaboratoryforMicro／NanoTechnologyandSystemofLiaoningProvince，DalianUniversityofTechnology， Dalian116024，China；2．KeyLaboratoryforPrecisionandNon—TraditionalMachiningTechnologyofMinistry ofEducation， DalianUniversityofTechnology，Dalianl16024，China) Abstract：Acombinedprocesstofabricatemicrometalmoldcavitywithlocalthree—dimension (3D) structurewasstudiedintheexperiment．First，atwo—dimension(2D)microstructurewasfabricatedOil themetalplatewithultraviolet—lithographic，galvanoformung，abformung(UV—LIGA)technology．Then the2Dmicrostructurewastransformedinto3Dfigurewithmicroelectro—dischargemachining (EDM) technologyinthepansaccordingtothedesign．Basedon analysisofthefactorsinfluencingthesurface roughnessinmicroEDM，a3D micromoldcavitywithslopesideslocallywasfabricatedintheNimoldof polymermierofluidicchip．Measuringresultsshow thattheanglesofthetwoslopesidesare49．6。and 46．4。，respectively，andthesurfaceroughnessR oftheslopesidesis