基于TDC的微小电容测量电路的设计.pdfVIP

MeasurementControlTechnologyand Instruments 基于TDC的微小电容测量 电路的设计 刘 浪 ，马铁华 ，李新娥 (1．中北大学 仪器科 学与动态测试教 育部重点实验 室，山西 太原 030051； 2．清华大学 精密仪器 与机械学系，北 京 100084) 摘 要 ：提 出一种基 于TDC(时间数 字转换 )的微 小 电容测量 电路 的设计方案 。该 电路 具有功耗 低 、体积小、抗干扰性强、分辨力高、刷新率 高的特 点。详细阐述 了测量 电路 的基本原理 、具体 实现 、参 数 配置 、标定和抗干扰 设计 ，并且通过测量 0pF~3pF范 围的 固定 电容和动 态 电容验证 了电路 的性 能。试验表 明电路在 10Hz刷新频率下分辨力为 6aF；电路在 13kHz刷新频率下分辨力为 610aF； ENOB(有效精度位)最 高可达 22位 。 关键词 ：TDC；微 小 电容 ；抗 干扰 ；标定 中图分类 号 ：TP212 文献 标识 码 ：A Design ofmicro capacitancemeasurementcircuitbasedonTDC LIU Lang，MA TieHua，LIXin E (1．KeyLaboratoryofInstrumentationScience DynamicMeasurement，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China； 2．DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：A circuitdesignplanformeasuringmicro-capacitancebasedonTDC (timetodigitalconversion)isproposed．This circuithassomeprominentfeaturessuch aslow power，smallvolume，strong anti—interference ability，high resolution and high up— date rate．Basic principle，detailed implementation，parameterconfiguration，calibration and anti—interference design ofcapacitance measurmentcircuitare described detailedly．Measurementsofstatic and dynamic capacitance in 0pF to 3pF show thatthe circuit hasagoodperformancewithresolutionof6aF in 10Hzupdaterateand610aFin13kHzupdaterate；andtheENOB(effective numberofbits)isupto22bits． Key WOrds：TDC；micro capacitance；anti—interference；calibration ． 电容式传感器输 出的电容信号往往很小 (1fF～10pF)， 0．16fF的分辨力 ，采样频率最高可达 20kHz。 又存在传感器及其连接导线杂散 电容和寄生电容的影响， 电容测量 电路f包括 以上性 能 比较卓越 的几款通用 这对 电容信号 的测量 电路提 出了非常高的要求 ，如此微小 电容检测芯片)都有一个对传感器 电容进行充放 电的过 的电容信号的测量成为 电容式传感器技术发展的瓶颈。 程 ，将 电容量转换为 电压 、电流等非 电容量 。目前 的测量 目前 ，国内外在测量 1OpF以下