AWG器件性能和工艺误差关系理论分析.pdfVIP

摘要 y《93s76 Dense 随着Internet网络的飞速发展，以密集波分复用(DWDM Division Multiplexing)技术为基础的光通信网络引起了人 Wavelength ／ 们极大的兴趣。(DWDM系统既适合于构架长距离的传输网络，也可 Area 用作诸如城域网(MAN Network)等短距离传输网 Metropolitan 络的首选方案。!在DWDM系统中，阵列波导光栅(AWG Arrayed Waveguide Grating)是最具应用前景的波分复用／解复用器，影响AWG 器件性能的关键因素是它的结构设计方案和工艺制作过程。 f阵列波导光栅的性能指标包括串扰，插入损耗，温度漂移以及偏 振色散等。为了得到实用化的AWG器件，除了需要优化设计AWG 本身的各种结构参数，还要充分考虑随机工艺制作误差给器件性能带 来的影响。这样，既可以非常有效地提高器件的性能，也能够控制成 本。然而，目前在这方面的研究十分有限。本论文的主要研究内容就 是结合AWG器件制作的工艺特点进行结构参数设计，为研制实用化 的波分复用／解复用器件提供理论依据。／r+—矿“ 本论文对基于SOI材料的AWG器件的性能和各种工艺制作误差 之间的关系作了深入的研究，得到了一些有指导意义的结果，为我们 在不同AWG器件的性能要求下，选择合适的结构参数和器件制作精 度提供了极好的依据。 t：论文中所给出的数学模型和算法，物理概念明确，易于理解，计 算过程简单，计算量相对较小√同时，尽管论文中的所有计算都是以 SOI材料为基础的，但计算模型同样适用于其他各种材料，并且很容 易推广到不同类型的波分复用，解复用器的类似分析和计算中去，具 有相当的研究价值和实用意义。／r777 j厶h ≮恕?#I z‘r cI： 4薹o-尊参-，f偬’j筵．卿≯熏；·∥压冬鬯毋降5 Abstract tremendous communication WithInternet’S booming，optical basedon Division network DWDM(DenseWavelengthMultiplexing) a research becomes canbe veryinterestingobjective．DWDM system of transmissionnetworkwellas utilizedinconstruction as short long-haul network