提升气动式微帮浦性能微道结构设计.pdfVIP

中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： A05-0001 提升氣動式微幫浦性能的微流道結構設計 蔡岳峰、闕振庚 國立臺灣海洋大學機械與機電工程學系 國科會計畫編號：無 磁力來驅動流體；僅需要從微流道結構中，搭配外接 摘要 壓縮空氣源，作不同的設計與研究。因此本論文將利 微流體系統中之流體的驅動與控制必須依賴微 用負壓式氣動噴射泵之結構，配合近年來之微流體學 幫浦作為動力來源，整個微流體系統才能運作，在微 研究 [10-11]與微機電系統(MEMS)製程設計技術，應 幫浦方面的研發，過去大多集中於機械式微幫浦，反 用於本論文之負壓式氣動微幫浦研發製造，並致力於 而負壓驅動的氣動式微幫浦卻少有研究。負壓式氣動 提升氣動式微幫浦的抽排性能，找出最佳化的微幫浦 微幫浦可應用於抽真空，尤其本身不需閥片或活動零 尺寸設計，以及比較出不同的尺寸設計對抽排性能的 件，不但可延長壽命，而且具有操作簡單、製程容易 影響。 的優點。因此本研究進行有關負壓式氣動微幫浦的設 計與製造，並致力於提升氣動式微幫浦的抽排性能。 本論文的研究結果包括：設計微噴嘴結構，設計應用 2.設計方法 於KOH濕蝕刻中微噴嘴與漸縮漸擴型擴散器的角落 2.1負壓驅動原理 補償結構，完成氣動微型幫浦之成品以及微幫浦吸取 負壓驅動流體的工作原理，主要可以分成兩種： 流量與抽取真空的測試實驗，另外並提出有關提升微 1. 利用流體力學的伯努利原理。 幫浦抽排性能的方法，以及最佳化微幫浦尺寸設計的 2. 利用流體力學的牽引作用。 探討。 伯努利原理的工作原理主要是當高壓流體通過 漸縮管道 (converging channel)時，流體會加速且造成 關鍵字 ：氣動式微幫浦、微流道、負壓式、微機電 壓力下降，而形成真空吸引力並將周遭附近的其他流 製程。 體吸入，內燃機化油器中之文氏管 (Venturi tube) ，即 1. 前言 是利用此工作原理。至於牽引作用的工作原理是當高 近幾年來，隨著微機電系統技術的發展，已經 壓流體通過一個開放空間時，流體會膨脹減壓，周遭 可以將實驗做在微小晶片上，即所謂的實驗室晶片 附近的其他流體，除了因為局部低壓被吸入外，還會 (lab-on-a-chip,LOC) 。利用微機電製程技術可將實驗 受到高速驅動及黏性效應 (viscous effect) 而被引入， 器材或是實驗結構微小化，將實