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XPS能谱数据处理 王博 吕晋军 齐尚奎 中国科学院兰州化学物理研究所 能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。 下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠 一、多元素谱图的处理： 1、将ASC码文件用NOTEPAD打开： 2、复制Y轴数值。打开ORIGIN，将Y轴数据粘贴到B（Y）： 3、如图：点击工具栏plot，选择line 4、出现下图：点击B（Y），再点击-Y，使B（Y）成为Y轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。 5、点击OK，得到下图： 6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。 位移： 1）如图：选择analysis(translate(vertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。 2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值） 3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值） 4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处： 位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。 B、平滑 1）如图选择： 2）出现下面的小窗口 3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，选择”replace original”,如果想重新做图选”add to worksheet”，下面的数值不用改变） 4）点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图： 二、剖面分析数据处理： 1、用写字板打开ASC码文件，选取所需要的元素 2、打开ORIGIN软件，如图示：选择column(add new columns 如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。 然后在B（Y）….J（Y）中依次输入不同cycle的Y轴数值 点击图中下方工具栏的waterfall 然后在下图中先输入X轴起始值及步长，再将Y值输入（点击B（Y），然后按住 SHIFT键不放，再点击最后一个Y值选项：如E（Y）），松开SHIFT 键，点击ADD 键。 点击OK得到下图： 应用修改工具得：（X OFFSET 设为0，Y OFFSET 设为100）注意谱线对应的CYCLE数 如果想要得到其中某一个cycle的谱图，只要调出原来的worksheet（数据表），再次点击waterfall。输入X轴数据，然后只选一组Y轴数据（和多元素分析一样），就可以了。 注：不同样品同种元素比较也可以用此种方法 三、谱图解叠： 和多元素分析步骤一样，经过平滑、位移,得到下图：（注：画图时，先输入X轴步长等，再输入Y轴数据） 去本底：选择tools(baseline 出现下面的窗口，选择baseline，将number of points后的参数改小一些，比如2，点击create baseline 4、出现下图：选择小窗口中的modify： 5、拖动每一点到合适的位置（点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置）：如图 6、然后选择substract得到 7、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值： 8、如图：选择analysis(Fit multi-peaks(gaussian 9、出现下面的窗口：按需要拟合的子峰个数输入 10、点击ok，得到： 11、点击OK默认选择，根据谱图的形状双击选择子峰位置（红十字代表峰顶）：如图 12、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。然后，选择analysis(non liner curve fit 如图： 13、得到： 14、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮 15、出现下图： 16、选择basic mode(start fitting回到原界面，点击1 lter和10 lter 直到出现新的子峰 17、上图明显也不合理，调节小窗口中各个子峰的数值 18、然后点击下图中done按钮，再次选择analysis(non-linear curve fit,反复修改直到得到满意的谱图 多元素分析注意事项： 不能一味的平滑，有时不平滑反而能更准确的反映样品的性质 位移要有理有据，不能按自己的需要移动。 解谱注意事项： 各个子峰的半峰宽要尽量接近 如果所解谱图不是1S，就会出现裂分峰（比如：2p2/3和2p2/5）此时，一定要根据谱图手册，按裂分峰间距解谱 对于裂分峰峰面积不能随意拟合，要按谱图手册的比例进行。 注意：以上方法得出的数据，仅供参考。 Y