光电检测技术课件 第二章.pdfVIP

第二章 光电衍射检测技术与系统 §2－1 激光衍射计量原理 §2－2 激光衍射计量技术 §2－3 实际的应用 §2 －1 激光衍射计量原理 一、概述  激光衍射计量方法是一种利用激光衍射条纹的变化来精密测量长 度、角度、轮廓的一种全场计量方法。  与干涉计量法、全息计量法、莫尔条纹法相比，具有简单、快速、 精密以及价廉的优点。  在70年代开始形成，受到各方面的重视，逐步发展为一种专门的 计量测试技术学科。  一种新的非接触计量测试方法，特别适合于自动检测。 §2－1 激光衍射计量原理 二、检测原理  衍射： a)近场衍射，也称为菲涅耳衍射。 b)远场衍射，观察屏E 处在较远的位置上， 3 利用透镜才能观察到的衍射，称夫琅和费 衍射。  激光衍射计量的基本原理是利用激光下 的夫琅和费衍射效应。  基本的远场衍射装置 。 平行光照射E 上的H孔时，远场衍射发