基于半导体激光器线性调频干涉技术的全光纤表面粗糙度传感器的研究.pdfVIP

维普资讯 一 II 第2期 计 测 No．2 1993年 6月 METROLOGY AND MEASUREM ENT Jun．，i993 基于半导体激光器线性调频干涉技术 的全光纤表面粗糙度传感器的研究 光 政 田苹 章恩耀 (清华大学精仪系，北京 l。。。84) — 一 … ～ 一 -rt42-~8．4 摘要 本文介绍了基于半导体激光器线性调颤干涉 日本的小坂制作所，英 国的NPL实验 室 等 技术的金光纤表面粗糙度传惑器的研究a该恃感器 都研制出了非接触表面轮廓仪。国内清华大 的灵敏麈为0．005 m，量程为4mm。属微型化 传 学，华中理工大学等单位都研制出了自己的 惑器，辅之以机械传动机构可完成对复杂