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维普资讯 第25卷 第4期 计 量 学 报 Vo1． 25， No4 2004年 l0月 ACTA METR0L0GICA SlNlCA October2O04 基于时域傅里叶变换的波长移相算法 于瀛洁， 张本好 ， 焦云芳 (上海大学精密机械工程系，上海 200072) 摘要 ：基于傅里叶变换的波长移相算法 ，是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主 要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想，指出了已有的Takeda算法的缺点，提出 了改进算法。叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析 ，最后给出了实验结果。 关键词 ：计量学；移相算法 ；波长移相干涉技术 ；离散傅里叶变换 中图分类号 ：TB96