一种改进的考虑划痕的关键面积计算模型和方法.pdfVIP

第 18卷 第 2期 电路与系统学报 VO1．18 NO．2 2013年 4月 J0URNAL0FCIRCUITSAND SYSTEM S April，2013 文章编号：1007—0249(2013)02—035306 一 种改进的考虑划痕的关键面积计算模型和方法 叶翼 ， 朱椒娇， 张波， 史峥， 严晓浪 (浙江大学 电气学院 超大规模集成 电路设计研究所，浙江 杭州 310027) 摘要t关键面积计算对于集成电路成品率的准确预测有着重要的意义。为 了得到精确的结果，关键面积计算需要 根据缺陷形状的不 同选择适当的缺陷模型。针对化学机械研磨引入的划痕，提 出了一种线性缺陷模型来计算其关键面 积。在此基础上进一步考虑了线端效应 的影响，对考虑划痕的关键面积计算模型提 出了改进。实验结果表明改进后模 型的计算结果更为准确 。 关键词t化学机械研磨；划痕；线性缺陷模型；关键面积 ；成 品率 中图分类号tTN4 文献标识码 ；A 1 引言 1．1 背景 在集成 电路的生产 中，化学机械研磨 (CMP)因 其全面平坦化的优势被广泛应用在层间介质 (ILD)、 一一 金属间介质 (IMD)、铜的大马士革工艺及浅沟道隔离 (a) 丢失物缺陷 (b) 冗余物的缺陷 (STI)的平坦化上…。但 由于其过程 中晶圆和研磨垫 图 1 PolyGate层 中由于 STI的CMP 之 间的相对磨擦 ，CMP工艺不可避免地引入 了了大量 工艺的划痕所导致的缺陷 的划痕 【。研浆 中的大颗粒 以及研磨垫上的外部颗粒是导致划痕产生的主要原因13,4]。当器件关键尺寸 缩小到纳米级时，划痕将是导致 电路故障和成品率流失缺陷的重要原因[。 图 1是 PolyGate层中由STICMP导致的一些划痕缺 陷。划痕周 围丢失或冗余 的材料正是 引起 电 气开路或者短路的主要原因。因此一个与划痕相关的随机缺陷成品率模型对分析包含 CMP工艺的集 成 电路有重要意义 。 1．2 常用的关键面积提取方法 随机缺陷的成品率模型研究已经有 30年的历史[刚。随机缺陷模型的关键是关键面积提取。从历年 来的研究来看，关键面积的提取方法可以分为 MonteCarlo方法[、多边形算子方法[引、Voronoi图方 法 []等 。 MonteCarlo方法是指在一个设计版 图上，通过随机投放大量的代表 了随机缺陷的图形，然后测量 引起缺陷的数量并 由此得到版 图上每一层对于随机缺陷的敏感度即失效概率的计算方法 。这个过程可 以使用成熟的计算机程序来进行仿真 。基于 MonteCarlo的方法是最早的关键面积计算方法之一，这 种方法 的优 点是适用性广 、直观 、准确并能适应各种版 图图形，但缺点是计算量太大 ，耗时多[10]，目 前较多被用作一种 比较标准 。 多边形算子方法是 目前较好的计算关键面积的计算机仿真方法 。此方法通过多边形的膨胀、收缩 和相交等算子完成关键面积的计算。例如针对短路或者开路 ，将线条形状按照缺 陷特征尺寸 的一半来 进行膨胀或者收缩，继而测定相交后的结果。只要选择了正确的缺陷模型，多边形算子方法的提取结 果即为准确的关键面积 。通常计算 中假设缺陷为圆形或者正方形 。这种方法适合于提取特定形状缺陷 收稿 日期 。2012—03．09 修订 日期：2012-05—28 基翕项 目。国家 “十一五 ”高端通用芯片科技重大专项基金资助项 目 (2008ZX01035—001—06) #通信作者一Emaih yeyi@vlsi．zju．edu．cn 354 电路与系统学报 第 18卷 的关键面积，针对缺陷形状，可以采用不同的缺陷模型来提高算法精确度(1l1。因此这种方法所得到的 关键面积准确与否严重依赖于合适 的缺陷模型。 Voronoi图方法是 由Papadopoulou等人提 出