()《6S+扩散药品性质和使用》2011-3-15.pptVIP

换源流程？ 生产过程中要经常观看源瓶状态，待源瓶内液位低于2CM时即需换源，先需电话通知巡检人员到场，换源人员要穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具及汗布手套和乳胶手套，将气源柜内快使用完的源瓶拆卸下来，拆卸时注意先关闭进气阀门后关闭出气阀门，然后将源瓶放至扩散间源瓶贮存室并登记。接下来便可取新源瓶，先检查外观是否正常，然后依次拧开出气阀门和进气阀门，观看瓶内液柱是否有异常，待巡检人员检查完毕后再将阀门拧紧，然后用推车推至车间进行安装，先将源瓶阀门再拧开，然后先接出气管再接进气管，完成后即进行鼓泡实验，将扩散小氮流量打到500，鼓泡10秒钟，再将流量打到1000，鼓泡10秒钟，一切正常后再将流量恢复为0，然后将源瓶放置到位，再将换源登记填写好，换源完成。 安全示意图如下 × 不正确换源示意图 安全示意图 × 不正确换源示意图 安全示意图 危 险！不可用物品 √ 正确换源示意图 安全事故 安全事故 安全事故 开管式扩散炉与闭管式扩散炉的不同？优点？缺点？ 开管式扩散炉一般是指以前老厂使用的老式设备，其炉门较简陋，没有安装石棉保温隔热层，硅片放置在浆上后需在两端都放置石英档板。闭管式扩散