适用于200mm太阳能电池片的闭管扩散-氧化系统设计.docVIP

适用于200mm太阳能电池片的闭管扩散-氧化系统设计.txt结婚就像是给自由穿件棉衣，活动起来不方便，但会很温暖。谈恋爱就像剥洋葱，总有一层让你泪流。 本文由queertale贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 ＥＰＥ 电 子 工 业 专 用 设备 Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｏｒ Ｅｌｅｃｔｒ ｏｎｉｃ Ｐｒ ｏｄｕｃｔｓ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒ ｉｎｇ 太阳能制造 ? 适用于 ２ ０ ０ ｍ ｍ 太阳能电池片的 闭管扩散 ／ 氧化系统设计 钟 华， 盛金龙 （ 北京七星华创电子股份有限公司， 摘 北京 １０００１６ ） 要： 介绍了适用于太阳能电池生产线闭管 磷 扩 散 设 备 ， 着 重 阐 述 了 该 设 备 的 结 构 组 成 、 艺 工 原理及控制。 关键词： 闭管扩散； 太阳能； 设备 中图分类号： ＴＮ３０５．４ 文献标识码： Ｂ 文章编号： １００４－４５０７ （２００７） ０５－００５１－０４ Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ／Ｏｘｉｄａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ Ｄｅｓｉｇｎ Ｆｏｒ ２００ ｍｍ Ｓｏｌａｒ Ｓｑｕａｒ ｅ Ｗａｆｅｒ ＺＨＯＮＧ Ｈｕａ，ＳＨＥＮＧ Ｊｉｎ－ｌｏｎｇ （Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｓｅｖｅｎｓｔａｒ Ｈｕａｃｈｕａｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏ． ｌｔｄ． Ｂｅｉｊｉｎｇ， Ｃｈｉｎａ １０００１６） Ａｂｓｔｒ ａｃｔ ： Ａ ｋｉｎｄ ｏｆ ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｏｒ ｓｏｌａｒ ｂａｔｔｅｒｙ ｐｒｏｄｕｃｔ ｌｉｎｅ ｉｓ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ． Ｔｈｅ ｍａｉｎ ｃｏｎｆｉｇｕ－ ｒａｔｉｏｎ，ｐｒｏｃｅｓｓ ａｎｄ ｃｏｎｔｒｏｌ ａｒｅ ｄｅｓｃｒｉｂｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒ ｄｓ ： Ｃｌｏｓｅｄ Ｔｕｂｅ Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ； Ｓｏｌａｒ ｂａｔｔｅｒｙ； Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ １ 引 言 自上世纪末至本世纪初以来， 由于化石燃料的 的特点， 这使得太阳能产业自 ２０ 世纪 ８０ 年代以来 得到了迅速发展。 全球光伏电池的生产每年以 ３６％ 的速度递增。在我国全面建设资源节约型、 环境友 好型社会的大背景下， 太阳能产业正面临着前所未 有的发展机遇。 因此国内太阳能电池行业近年来呈 现高速增长的势头。 尤其近几年国内太阳能发展迅 猛，随着国内各个太阳能生产线的建立及扩建， 对 于太阳能设备需求量也很大。现在主要依靠进口， 不仅费用太高， 而且相关技术受制于人。所以急需 研制出用于太阳能电池生产线上的关键设备， 摆脱 我国太阳能电池设备长期依赖进口的局面。 日趋枯竭， 造成能源形势日趋紧张。加之与日俱增 的化石燃料的燃烧所造成的环境污染， 已经对地球 生态平衡和人类的生存带来严重的危害。 世界范围 内的能源短缺和人们环保意识的增强， 使得太阳能 被认为是 ２１ 世纪最重要的新能源。太阳能光伏发 电是一种可再生的清洁能源，能量来源于取之不 尽， 用之不竭的太阳能， 太阳能发电具有无污染、 不 破坏生态、 安全、 寿命长、 维护简单、 资源永不枯竭 收 稿 日 期 ： ２００７－０４－１６ 作者简介： 钟 华 （１９６６－） 辽宁人， ， 高级工程师， 现从事微电子工艺设备研发及设计工作。 Ｍａｙ． ２００７（总第 １４８ 期） ５１ 太阳能制造 ? 电 子 工 业 专 用 设备 Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｏｒ Ｅｌｅｃｔｒ ｏｎｉｃ Ｐｒ ｏｄｕｃｔｓ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒ ｉｎｇ ＥＰＥ 作为半导体和太阳能电池专用设备的研制生 ２００６ 年， 我公司成功研发了适用于太阳能 产厂家， 生产线的闭管磷扩设备。 该扩散系统供太阳能电池 生产线 １２５ ｍｍ×１２５ ｍｍ及 １５６ ｍｍ×１５６ ｍｍ 方 片扩散工艺使用。 扩散炉是太阳能电池生产线上的 关键设备之一，它对 ｐｎ 结的质量和电池片的效率 起着至关重要的作用。 管式炉主要用于气相扩散， 通常使氮气通入装 将 有液态 ＰＯＣＬ３（２０～３０ ℃）的石英泡内， ＰＯＣＬ３ 携带入反应室， 典型的工艺温度为 ８８０ ℃， 也可用 于固相扩散， 这种方式可以在硅片的两面和边缘生 成 ＰＮ 结； 管式炉的反应环境比较干净， 无金属污 染， 也可以在一批次中处理多个硅片。ｐｎ 结的厚度 约为 ０．３μ 磷的浓度很高， ｍ， 通入的氮气为 ３ Ｌ／ｍｉｎ， 半导体磷扩工艺一般为 １ Ｌ／ｍｉｎ。 在扩散过程完成后， 一般会在硅片表面形成一 层磷硅玻璃， 需要