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真空的检测 2120100208 胡志龙 主要内容: 热偶规：中间导体定律，工作原理，测量范围。 热阴极电离真空计：工作原理，使用规范，测量范围。 热偶规 中间导体定律： 由导体A、B组成的热电偶回路，当引入第三种导体C时，只要保持第三种导体C两端的温度相同，引入导体C后对回路总电势无影响，即回路中总的热电势与引入第三导体无关，这就是中间导体定律。根据这一定律，如果需要在回路中引入多种导体，只要保证引入的导体两端温度相同，均不会影响热电偶回路中的热电势，换句话说：接入的测量仪器不会影响热电偶的电势差，只要保证接入端材质相同，温度一致。 工作原理 在一定压强下，气体的导热系数与压强成正比。也就是气体压强大，导热系数也大。 如果固定热丝的加热电流, 那么导热丝（即热结点A）的温度随着规管内真空度的提高而升高,热电动势也随之增大。 因此,可以通过测量热电偶电动势来测定被测系统的真空度。 若压强高于105Pa，气体热传导与压强无关，所以热偶规测量有测量上限。 在很低压强下，由气体导走的热量已经很少，金属引线及热辐射本身导走的热量远大于气体的导热，所以它也有测量的下限。 这个范围是：大气105Pa~10-1Pa。 极限真空度： 热阴极电离真空计 F为热阴极灯丝，发射电子，电子通过栅极G电压的加速，获得一定的能量。 电子在栅极和A极板中与气体发生碰撞，产生了离子。 A极板与栅极形成的加速场，使得离子到达A极板，形成电流，极板上离子流强度与压强，电子电流成正比。 即通过测量极板（收集极）的电流可反映真空度。 极限真空度： 1.电离几乎依赖电子的能量及气体的种类，加速路程依赖真空计的形状尺寸。 2.电子在与栅极的碰撞下产生软X射线，这种射线使得收集极产生光电子向外发射，即等效开始注入的正离子减少。 这些缺陷限制真空计极限真空度，当系统真空度达10-5Pa，离子的注入与光电子的发射达到平衡，所以极限真空度为10-5Pa。