电子测试作业.pptVIP

传感器 1.湿度传感器 陶瓷湿度传感器 原理：利用半导体陶瓷材料制成的陶瓷湿度传感器，半导体陶瓷元件具有湿敏特性，具有湿敏特性的元件可以制成湿度传感器，半导体陶瓷为电阻式湿敏元件，其特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。 结构 该湿度传感器的感湿体是MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷，是负特性湿度传感器，即随着环境相对湿度的增加，阻值下降。这种多孔陶瓷的气孔大部分为粒间气孔,气孔直径随TiO2添加量的增加而增大。粒间气孔与颗粒大小无关, 相当于一种开口毛细管,容易吸附水分。材料的主晶相是MgCr2O4相,此外,还有TiO2相等,感湿体是一个多晶多相的混合物。 在探针中用途： 在探针中主要用于磁透镜上湿度的监测，因为按照仪器使用的要求，该透镜上不能够有水或水汽，以免对探针的使用造成不良的影响。 气敏传感器 原理 半导体材料二氧化钛（TiO2）属于N型半导体，对氧气十分敏感。其电阻值的大小取决于周围环境的氧气浓度。当周围氧气浓度较大时，氧原子进入二氧化钛晶格，改变了半导体的电阻率，使其电阻值增大。 TiO2氧浓度传感器结构及测量转换电路 氧浓度传感器外形 在探针中用途 由于探针内部要保持为真空，所以在操作前以及操作过程中确定内部是否存在空气，因为空气中含有氧气，所以对氧气敏感的二氧化钛氧浓度传感器可以用来监测探针内部的这一状况。 引自：/view/aded9df90242a8956bece4c4.html 温度传感器 热电阻式温度传感器 原理 金属热电阻传感器一般称作热电阻传感 器，是利用金属导体的电阻随温度变化这一特性进行测温的 1.铂热电阻的电阻—温度特性 铂电阻的特点是测温精度高，稳定性好，所以在温度传感器中得到了广泛应用。铂电阻的应用范围为-200～+850℃。 铂电阻的电阻—温度特性方程，在 -200～0℃的温度范围内为： Rt=R0[1+At+Bt2+Ct3(t-100)] 在0～+850℃的温度范围内为： Rt=R0(1+At+Bt2) 式中：R0、Rt为铂电阻在0℃和t ℃时电阻值 上式中B、C分度系数很小，故阻值Rt与温度t近似为线性关系。 热电阻的结构和类型 热电阻传感器由电阻体、绝缘管、保护套管、引线和接线盒等组成 1、薄膜型及装配型（普通型）铂热电阻 3、端面型铂热电阻 在探针中用途 探针中很多部件需要用到温度传感器，如放样品的平台，因为受电子束的作用温度会升高，需要知道其温度并加以控制：还有弯晶以及接受受激发产生的射线的部件，都需要对其温度进行监测，如不正常，则采取措施进行控制。这也属于自动控制的措施。 引自：/view/0396f228915f804d2b16c150.html 在探针中用途 因为电子探针中要分析样品的组成和含量，需用磁场来聚焦电子束对样品表面微区进行轰击，所以对磁场进行监测。 /view/3598bebd960590c69ec376b0.html 放射性射线传感器 * 陶瓷湿敏元件结构图 护圈电极 感湿陶瓷 氧化钌电极 加热器 基板 电极引线 a）结构 b）测量转换电路 1－外壳（接地）2－安装螺栓 3－搭铁线　4－保护管 5—补偿电阻 6－陶瓷片 7－TiO2氧敏电阻 8－进气口　　 9－引脚 热电阻材料特点： 高温度系数，高电阻率。可以加快反应速度，提高灵敏度，减小体积和重量； 化学、物理性能稳定。以保证在使用温度范围内热电阻测量准确性； 良好的输出特性。即必须有线性或接近线性的输出； 良好的工艺性。以便于批量生产，降低成本。 热电阻大都由纯金属材料制成，适宜制作热电阻的材料有铂、铜、镍和铁。 虽然铁、镍的温度系数和电阻率均比铂铜要高，但由于不易提纯和非线性的缺点而用的不多。 薄膜铂电阻是使用最新的薄膜技术而制造的温度传感器。与其他类型的热电阻比较，此产品具有适于大批量生产，一致性好，成本低及尺寸小等特点。 常有Pt100铂电阻和Cu50铜电阻2种类型。 测量范围： -200~420 ℃ 2、铠装型热电阻 铠装热电阻是由感温元件（电阻体）、引线、绝缘材料和不锈钢套管组合而成的坚实体。 与普通型热电阻相比，铠装型有下列优点： 体积小，内部无空隙，热惯性小； 机械性能好，耐震抗冲击； 柔软能弯曲，便于安装； 使用寿命长。 端面型感温元件由特殊处理的电阻丝材绕制，紧贴在温度计端面，它与一般轴向热电阻相比，能更正确和快速地反映被测端面的实际温度，适用于测量轴瓦·和其他