直线度和平面度的测量.doc

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直线度和平面度的测量 直线度的测量 常用的测量方法有直尺法、准直法、重力法和直线法等; 直尺法? 常用直尺、平尺等以光隙法和指示表法等进行测量。它以石英直尺、平尺的测量面作为已知平面与被测直线比较,通过电学式长度传感器或测高仪或量表记录被测直线与基准的比较值来测量直线度 光学自准直法? 用自准直仪测量。将被测全长分成若干段,测出各段的倾斜角。通过作图或计算求出直线度。 重力法? 利用液体自动保持水平或重物自动保持铅直的重力现象测量直线度。常用的量仪是水平仪,也有利用液体的水平面作为测量面与被测面比较来测量直线度误差的。 直线法? 利用钢丝和激光束等测量直线度。  此外,还可以利用平晶、激光干涉仪及其直线度测量附件测量直线度误差,测量精确度很高。 . .1、自准直原理简介:? 自准直仪将一个刻线的图像以平行光束(准直光)的形式投射到反射镜上,该反射镜将其光束反射回自准直仪。这就是自准直图像。如果反射镜与光轴垂直,则光束将反射回其自身。 如果反射镜倾斜一个角度(,则其反射光将以角度 2(反射回来。根据反射光的倾斜程度,自准直图像会以更大或更小的角度发生位移。 通过测量自准直图像在X轴及Y轴上的位移可以测得反射镜的角度变化。 2、准直仪的应用 ?(1)使用前的准备 自准直仪放置一定要稳固可靠、位置合适,跟被测物尽量在一直线上;反射镜也应该尽量与被测直线垂直, 反射面应保持清洁;选择合适的桥板,一般选择桥板的长度为200mm;当被测直线太长时可以增大桥板长度; 反射镜在近距离时,先调整准直仪左右上下找到反射回来的分划板光斑;然后将反射镜往远处缓慢移动,分划板光斑肯定会左右上下移动,调节准直仪,尽量使光斑在中心。当分划板图像模糊、淡化到将要看不清时,停止反射镜的移动,调节反射镜左右上下角度,使光斑清晰后,继续移动,直到到达被测直线最远端光斑清晰为止; (2)直线度的测量 反射镜调整好后,开始直线度的测量了。将反射镜移动到离准直仪最近端,读得准直仪的读数,并记录;再移动反射镜桥板的长度后,停下再读数再记录,直到反射镜到达最远端为止;例如记录数据为:15′30″,15′36″,15′40″,15′27″,15′24″.设第一个数据为0点,数据依次为:0″,6″,10″,-3″,-6″;记录的数据是角度需转化为距离; H=tgɑ*L ɑ=1″ L=桥板长度 ?桥板长度就定为200mm; H=tg(1/3600×π/180)*200=200π/648000=0.001 数据依次为:0μm,6μm,10μm,-3μm,-6μm 若桥板长度为400mm;则 ɑ=1″时H=0.002数据依次为:0μm,12μm,20μm,-6μm,-12μm 若桥板长度为100mm;则 ɑ=1″时H=0.0005数据依次为:0μm,3μm,5μm,-1.5μm,-3μm 即H=桥板长度/200*ɑ(ɑ单位为秒) (3)数据处理 数据处理有1)图解法2)旋转法3)列表计算法4)解析法 我公司现使用的是图解法,下面讲述图解法的详细运用 以桥板200为例,数据为0μm,6μm,10μm,-3μm,-6μm;然后累加得: 0μm,6μm,16μm,13μm,7μm 以横坐标X表示测量间距,纵坐标表示量值。将测量间隔和相应测点的量值分别按一定比例标在座标纸上。然后把各测点用线段连成一条误差折线,然后再作一条直线连接折线首尾,在Y方向上离直线最远的距离就是直线度误差值。 上面图形的折线就是直线的大致轮廓 二、平面度的测量 平面度公差用以限制平面的形状误差。其公差带是距离为公差值的两平行平面之间的区域。并规定,理想形状的位置应符合最小条件,常见的平面度测量方法有用指示表测量、用水平仪测量平面度及用自准仪和反射镜测量平面度误差, 用各种不同的方法测得的平面度测值,应进行数据处理,然后按一定的评定准则处理结果。平面度误差的评定方法有; 1. 最小包容区域法,由两平行平面包容实际被测要素时,实现至少四点或三点接触。且具有下列形式之一者,即为最小包容区域,其平面度误差值最小。最小包容区域的判别方法有下列三种形式。 (1)两平行平面包容被测表面时,被测表面上有3个最低点(或3个最高点)及1个最高点(或1个最低点)分别与两包容平面接触,并且最高点(或最低点)能投影到3个最低点(或3个最高点)之间,则这两个平行平面符合最小包容区原则。见图1(a)所示。 (2)被测表面上有2个最高点和2个最低点分别与两个平行的包容面相接触,并且2个最高点投影于2个低点连线之两侧。则两个平行平面符合于平面度最小包容区原则。见图1(b)所示。 (3)被测表面的同一截面内有2个最高点及1个低点(或相反)分别和两个平行的包容面相接触。则该两平行平面符合于平面度最小包容区原则,如图1(c)所示。

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