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硬脆材料先进加工技术 报告人：温宁 在线电解修锐磨削（ELID） ELID磨削原理如图所示。金属结合剂超硬磨料砂轮与电源正极相接做阳极，工具电极做阴极，在砂轮和电极的间隙中通过电解磨削液，利用电解过程中的阳极溶解效应，对砂轮表层的金属基体进行电解去除，从而逐渐露出崭新锋利的磨粒，形成对砂轮的修整作用：同时形成一层钝化膜附着于砂轮表面，抑制砂轮过度电解，从而使砂轮始终以最佳磨削状态连续进行磨削加工。所以该技术将砂轮修整与磨削过程结合在一起，利用金属基砂轮进行磨削加工的同时利用电解方法对砂轮进行修整，从而实现对硬脆材料的连续超精密镜面磨削。 电电源源 工作台 工件 砂轮 电极 电 源 磨削液 1 先进磨削技术 1, 磨削过程具有良好的稳定性和可控性， 易于实现磨削过程的最优化： 2, 加工精度高，表面裂纹少，表面质量好： 3, 适应性广泛，磨削效率高： 装置简单，成本低，推广性强等。 ELID工艺特点 高速（超高速）磨削 高速磨削通常指砂轮速度大于100m/s的磨削。 高速磨削可以对难加工硬脆材料实现延性磨削加工，具有大幅度提高磨削效率，降低表面粗糙度，延长砂轮寿命，减小磨削力和工件受力变形，提高工件加工精度，降低磨削温度等优点。 磁力研磨光整加工技术 磁力研磨光整加工（ Magnetic Abrasive Finishing，MAF) 是一种把磁场能应用于传统的研磨技术中，开发出的一种新兴的磨削加工技术，通过磁极产生的磁场力作用到磁性磨料(填充在磁极与工件之间)上形成一个与加工面形状相当的磁力研磨刷，对工件表面进行磨削加工的方法。 这种加工方法具有高效率、高精度和高表面质量的特点，适合于平面、球面、圆柱面和其它复杂形状零件的加工，并能控制研磨效率和研磨精度。同时磁性研磨加工技术可以很好地与数控机床、加工中心和机器人技术结合，实现光整加工的自动化。 不仅应用于模具的精加工中，而且在制药业、航空航天业、大规模集成电路、精密仪器和精密量具等行业也将有很好的应用前景，是一种有效的光整加工方法之一。 2 辅助能量加工技术 磁流体研磨 电化学磁力研磨 磁性磨料研磨 磁流变抛光 磁力悬浮研磨 磁力研磨光整加工（ MAF）目前技术类别 Magnetic Fluid Grinding Magnetic Abrasive Grinding Electrochemical Magnetic Abrasive Finishing Magnetorheological Finishing Magnetic Suspension Grinding 超声辅助加工技术 超声波加工是利用产生超声振动的工具(模具)，带动工具和陶瓷元件间的磨料悬浮液，冲击和抛磨工件进行加工。随着工具在三维方向上的进给，工具端部的形状被逐步复制在陶瓷工件上。 常用的磨料是碳化硼、碳化硅和氧化铝等。一般选用的工作液为水，为提高材料表面的加工质量，也可用煤油或机油作液体介质。 其主要应用在深小孔的加工、拉丝模及型腔模具研磨抛光、超声复合加工等难加工作业。 下图为德国DMG公司DMS35Ultrasonic超声振动加工机床，主轴转速3 000～4 0000 r/min，特别适合加工陶瓷、玻璃、硅等硬脆材料。与传统加工方式相比，生产效率提高5倍，加工表面粗糙度Ra＜0.2μm，可加工0.3 mm精密小孔 超声加工的特点 （1）适合于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，例如玻璃、陶瓷(氧化铝、氮化硅等)、石英、锗、硅、石墨、玛瑙、宝石、金刚石等。对于导电的硬质金属材料(如淬火钢、硬质合金等)也能进行加工，但加工生产率较低。 （2）由于工具可用较软的材料做成较复杂的形状，故不需要使工具和工件做比较复杂的相对运动，因此超声加工机床的结构比较简单，操作、维修方便。 （3）由于去除加工余量是靠极小的磨料瞬时局部的撞击作用，所以工具对工件加工表面宏观作用力小，热影响小，不会引起变形和烧伤。表面粗糙度可达Ra1～0.1um或更低，加工精度可达0.01～0.02mm，而且可以加工薄壁、窄缝、低刚度的工件。 摩擦化学反应辅助加工 Furey等人1997年研制了能够和硬脆材料发生化学腐蚀的切削液，金刚石砂轮片切割Si3N4陶瓷试验效率比水基冷却液提高8倍。后人又不断研制出类似切削液，主要用于Si3N4陶瓷的磨削加工。 Si3N4陶瓷首先会和磨削液中的有机物分子发生如下式所示的化学吸附： 此吸附现象在磨削高温条件下会进一步衍化为摩擦化学反应： 生成的固态物-硅脂，小部分溶于磨削液被冲刷带走，大部分附着在Si3N4陶瓷加工表面上，不但降低了试件表面硬度，而且具有更优异的润滑性能，进而影响磨削效率和质量 等离子体加工 最初是前苏联、美国和日本，他们开发微束等离子弧加工，