表面粗化提高红光LED的光提取效率.pdfVIP

第28卷 第2期 固体电子学研究与进展 V01．28，No．2 2008年6月 0FSSE Jun．，2008 RESEARCHPROGRESS 表面粗化提高红光LED的光提取效率。 刘思南” 邹德恕 张剑铭 顾晓玲 沈光地 (北京工业大学电控学院光电子技术实验室，北京，lo0022) 2006一09—1l收稿，2006·1l—zo收改稿 摘要：介绍了通过出光表面粗糙化来减少全反射的方法，实验中使用化学湿法腐蚀的技术获得预计的粗糙形 貌，结果给出不同参数下的光强和光辐射功率比较，器件的外量子效率得到了约29％的提高。从理论和测试结果两 方面阐述了表面粗糙化对提高红光LED外量子效率的机理。 关键词：发光二极管；表面粗化；磷化镓；湿法腐蚀；取光效率 中图分类号：TN383文献标识码：A 文章编号：1000一3819(2008)02—245一03