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铁电薄膜材料及其应用
铁电体是一类具有自发极化的介电晶体,且
其极化方向可以因外电场方向反向而反向。
存在 自发极化是铁电晶体的根本性质,它来
源于晶体的晶胞中存在的不重合的正负电荷
所形成的电偶极矩。
具有铁电性,且厚度在数十纳米至数微米的
薄膜材料,叫铁电薄膜。
从二十世纪八十年代以来,铁电材料的研
究主要集中于铁电薄膜及异质结构、聚合
物铁电复合材料、铁电液晶等方面。
目前,由铁电薄膜与Si半导体集成技术相
结合而发展起来的集成铁电学
(Integrated Ferroelectrics)及相关集
成铁电器件的研究,已成为铁电学研究中
最活跃的领域之一,亦在信息科学技术领
域中显示出诱人的应用前景,受到了材料
物理、凝聚态物理、陶瓷学、微电子学和
信息科学等领域中众多学者的关注。
图1 铁电体电滞回线示意图
铁电体的基本性质
铁电体的基本性质就是铁电体的极化方向
随外电场方向反向而反向。
极化强度与外电场的关系曲线如图1所示,
此曲线即电滞回线 (hysteresis loop)。
图中P 是饱和极化强度, P 是剩余极化强
sA r
度, EC是矫顽场。
铁电体的基本性质
由于晶体结构与温度有密切的关系,所以
铁电性通常只存在于一定的温度范围内。
当温度超过某一特定的值时,晶体由铁电
(ferroelectric)相转变为顺电
(paraelectric)相,即发生铁电相变,
自发极化消失,没有铁电性。
这一特定温度Tc称为居里温度或居里点
(Curie Temperature)。
铁电体的基本性质
在居里点附近铁电体的介电性质、弹性性
质、光学性质和热学性质等,都要出现反
常现象,即具有临界特性。
在Tc时,介电系数、压电系数、弹性柔顺系
数、比热和线性电光系数急剧增大。
例如:大多数铁电晶体,在Tc时介电常数可
4 5
达10 ~10 ,这种现象称为铁电体在临界温
度附近的“介电反常”。
铁电体的基本性质
当温度高于T 时,介电系数与温度的关系服从居
c
里-外斯定律(Curie-Weiss Law):
c
ε (T −T )
0
式中,c为居里常数(Curie constant ),T为绝
对温度,To为顺电居里温度,或称为居里-外斯
温度,它是使ε→ ∞时的温度。对于二级相变铁
电体,T =T ,对于一级相变铁电体T T (居里
0 c o c
点T 略大于T )。
C 0
铁电薄膜及其制备技术的发展
20世纪80年代以后,薄膜制备技术取得了一系列
新的突破,众多先进的薄膜制备技术,如射频溅
射(rf-sputtering)法、化学气相淀积(CVD)法、
金属有机物淀积(MOD)法、金属有机物化学气相
淀积(MOCVD)法、溶胶-凝胶(Sol-Gel)法、脉冲
激光淀积(PLD)法以及分子束外延(MBE)法等先后
用于制备铁电薄膜,从而克服了铁电体与半导体
器件集成的主要技术障碍,使得与半导体工艺兼
容的集成铁电器件成为可能,大大推进了铁电薄
膜制备与应用研究的发展。
铁电薄膜的制备技术
铁电薄膜制备工艺主要有以下四种,表1给
出这四种主要制膜技术的发展现状。
⑴ 溅射法
⑵ MOCVD技术
⑶ Sol-Gel法
⑷ PLD法
表1 铁电薄膜四种主要制备技术的对比
项目
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