SrTiO3薄膜制备技术研究进展.pdfVIP

第31卷第5期 硅 酸 盐 通 报 V01．31No．5 BULLETIN0FTHECHINESECERAMIC 2012年10月 SOCIETY October，2012 SrTi03薄膜制备技术研究进展 刘 剑1，郝斌1，董秀珍1，李悦1，王伟志2 (1．唐山学院环境与化学工程系，唐山063000；2．唐1h学院计算机科学与技术系，唐山063000) 摘要：拥有众多优良性能的SrTiO，薄膜已经受到了人们的广泛关注。本文首先对SrTiO，薄膜的性质和应用进行了 简单介绍，然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述，文章最后对 SrTiO，薄膜的制备及器件研究领域进行了展望。 关键词：SrTiO，薄膜；制备；进展 中图分类号：0484 文献标识码：A Research Film on of Thin DevelopmentPreparation SrTi03 LIU Wei—zhi2 Jianl，HAOBinl，DONGXiu—zhenl，LIYuel，WANG ofEnvironmentalandChemical (1．Department Engineering，TangshanCollege，Tangshan063000，China； of Scienceand 2．DepartmentComputer Technology，TangshanCollege，Tangshan063000，China) thinfilmhasbeen moreattentionforitsexcellent and Abstract：SrTi03 paid capability．Properties of thinfilmwereintroduced the technicandresearch applicationSrTi03 firstly，thenpreparation actuality with andchemicalmethodwere in last research summarized the of fieldof physical detail，at prospect thinfilm and was forward． SrTi03 preparationorganput thin Keywords：SrTi03film；preparation；development 1 引 言 随着电子及微电子工业的发展，要求电子元件进一步朝微型化、薄膜化、集成化、智能化的方向发展，从 而使得功能陶瓷薄膜的研究和制备日益突出和被重视起来。近几年来，薄膜产业迅速发展，薄膜科学技术和 薄膜材料已成为材料科学中最为活跃的研究领域之一，在现代高新技术中的地位越来越重要，因而受到研究 者们的高度重视。 SrTiO，具有典型的钙钛矿型结构…，其薄