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第41卷第5期 人 工 晶 体 学 报 V01．41No．5
OFSYNTHETICCRYSTALS，，
2012年10月 JOURNAL October，2012
蓝宝石单晶生长坩埚热应力分析
白亮亮，刘云霞，杨军良，赵宜琳
(西安理T大学，西安710048)
摘要：针对蓝宝石单晶生长过程中因热应力集中坩埚使用寿命短问题，基于ANSYS有限元分析，对晶体熔化过程
中的坩埚进行瞬态传热分析，在此基础上进行不同情况下热一结构耦合分析，计算得出晶体完全熔化后坩埚的热应
力分布情况。分析显示：最大热应力存在于坩埚与托盘结合处；在满足晶体生长条件下，减缓升温速度，减小温度
梯度，增大托杆中问空隙，改变托盘托杆材料等方法可以减小热应力。
关键词：坩埚；有限元；温度场；热应力
中图分类号：THl23 文献标识码：A
ThermalStress of GrowthCrucible
AnalysisSapphireCrystal
BAI Yi—lin
Liang—liang，LIUYun—xia，YANGJun—liang，ZHAO
of
(XihnUniversityTechnology，Xign710048，China)
9 20
(ReceivedJuly2012，acceptedAugust2012)
solvethe thattheshortservicelife0±cruciblecausedtheconcentratedthermal
Abstract：Toproblem by
FEM todotransient oftheheattransferofcruciblewhenthe
stress．UsingAnsys analysis analysis crystal
is thethermal andstructural underdifferent
melting．Then，couplinganalysis analysis conditions，and
outthedistributionofthermalstressofthecruciblewhenithasbeen
working totallymelting．Theanalysis
showsthatsome couldreduceheat thermalstressexiststhe of
stress，for ioint
ways example：maximum
crucibleandthe the the the
gradient，increase
tray；s
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