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应用于微直线驱动器的电压源设计 （200072 上海市延长路 149 号上海大学 M4-312 室）张宏伟 王峰 王健 摘要 介绍一种以单片机为核心，应用 AD9835 芯片产生向微直线致动器提供 高频可调，相位可调，幅值可调的精密正弦电压源，并且采用 VB 设计上位机控 制软面板。 关键词 直接数字频率合成器；电压源；MEMS ；单片机 中图分类号：TP393 文献标识码：B Voltage Source Designed for Linear Micro-actuator Abstract This paper describes a new kind of exactly sinusoidal voltage source with adjustable h igh frequency, phase and amplitude by applying IC chip AD9835 designed around the microcontroller. We also design the soft panel with VB language in the upper computer. Key Words DDS （Direct Digital Synthesizer ）；voltage source ；MEMS ； SCM （Single Chip Microcontroller） 谐振式微直线致动器是微机电系统 （MEMS ），其谐振运动的频率范围在 1K~500KHz 之间，促使系统实际谐振起来的频率为：谐振频率±5～300Hz。这对系统电源的频率精度和 频率稳定性提出了很高的要求，采用 LC 震荡器构成的正弦波发生电路难以在如此大的频率 范围内提供可精确控制频率和稳定幅度的波形，不能满足 MEMS 对驱动源的频率宽广稳恒 的要求。鉴于此，我们开发出以 8031 为主控制器的大范围频率可调智能电压源。 1 系统组成及原理 图 1 为系统组成原理图，由电源电路、电平转换电路、8031 单片机系统和 AD9835 波 形发生及转换电路 4 部分组成。上位机控制软面板用可视化编程语言 VB 编写，其功能和控 制原理在后面的系统软件部分详述。 电源电路 EPROM Intel 8031 上 位 74LS373 RAM MAX232 机 控 电 平 转 制 软 I/V 驱动 换电路 AD9835 面板 电路 图 1：系统硬件框图 该电压源要实现的功能，如预置输出电压频率、初相位通过操作上位机的软面板来进 行。8031 单片机将被预置的电压参数通过换算传输给 AD9835 实现规定参数的模拟正弦电 流输出，最后驱动 I/V 转换输出幅值可调、频率相位预设的正弦电压。 1.1 电源电路 为单片机系统、电平转换电路和 AD9835 波形发生及转换电路提供+5V ，±15V 电源。 1.2 电平转换电路 由于上位机 RS232 串行口的电平信号与 8031 串行口的电平信号不匹配，因此采用 MAX232 作为接口实现串行口的电平转换。 1.3 8031 单片机系统 1 该系统以 8031 单片机为核心，外部扩展 8K 的EPROM 和 8K 的RAM 。80