一种气体流量的精密测量与自动控制装置.pdfVIP

高新技术 SCENC『E＆TECHN0L0GY一。2013NO．12匝圆 一 种气体流量的精密测量与 自动控制装置① 王小飞’ 郭学成’ 董沛毅’ 杨妍璨’ 郭文红’ 张正义z (1．华北 电力大学电气与电子工程学院；2．华北 电力大学数理学院 河北保定 071000) 摘 要 ：介绍 了一种气体流量的精密测量与自动控制装置，采用单片机作为微控制器，选用流量传感器、独立按键 ，l2864液 晶等作为辅 助设备，实现气体流量数据的实时采集，显示和处理 ，并建立人机界面友好的流量测量和控制系统。试验表明。该装置具有控制精度高 实时性好 ．反应速度快，功耗低 ，价格低廉等优点，适用于小流量气体的洲量与控 制 。 关键词：单片机 气体流量 实时采集 人机交互 自动控制 中图分类号：TP216 文献标识码 ：A 文章编号：1672—3791(2013)04(c)一0009—02 气体质量流量控制器(MFC)是一种能 量和严格的控制 。 具有纹波小、转换效率高、电路结