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硕士论文 微机械压电超声换能器的力电性能研究 摘要 964 Y20611愀鞘幽 本文研究的是基于应变梯度理论的微机械压电超声换能器压电薄膜的静态 应变。压电超声换能器是目前应用很广泛的一种换能器，例如医学成像、远距离 遥控测量、交通监测、机器人成像信息采集等等。传统的换能器受制于其尺寸， 要批量生产成二维的换能器阵，一方面成本会很高，另一反面会使换能器阵极为 笨重。相比之下，微机械压电超声换能器体积小、重量轻、惯性小、响应时间短， 具有常规尺寸换能器无法比拟的优点。 我们研究的微机械压电超声换能器由弹性层、压电层、上下电极层构成。换 能器厚度达到了微米级别，在研究薄膜应变时要应用应变梯度理论。在本文中我 们采用的是CS应变梯度理论，即偶应力理论。压电层在外加电场激励下，由于 压电效应，薄膜发生弯曲。在强电场作用下，压电材料的电致伸缩性必须要加入 考虑，并且电致伸缩性与电场强度的偶数次方成正比。为了优化换能器的工作性 能，分