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几种常见气体传感器的研究进展.pdf
摘要：气体传感器日渐发展，其应用的范围越来越广，特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、
保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理，并对常见几种有毒性气
体（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性气体（氢气、甲烷）的各种类型传感器的研究
进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍，同时对 MEMS 工艺制作气体传感器进行了展望。
关键词 ：敏感材料；气体传感器；有毒气体；可燃性气体；MEMS 技术
中图分类号: TP212.2 文献标识码: A 文章编号： 1006-883X(2006)01-0006-07
1964 Wickens Hatman 1982
Warwick Persaud [1]
6 2006.1
Technology Review
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