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摘 要
摘 要
多铁性材料是同时具有铁电性、铁磁性、铁弹性中至少两种特性的多功能材料。铁
酸铋（BiFeO3 ）是目前少数能在室温下同时具有铁电性和反铁磁性的一种多铁性铁电材
料，在研制新型的存储器、集成电路、磁传感器以及自旋电子器件等方面有着广泛的应
用前景。本论文对BiFeO 铁电薄膜材料进行深入的研究。利用磁控溅射方法（Magnetron
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Sputtering）制备了BiFeO 薄膜，应用X射线衍射仪（XRD ）、原子力显微镜（AFM ）、铁
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电测试仪（Precision LC unit ）和振动样品磁强计（VSM ）研究薄膜样品的微观结构、结
晶状况、表面形貌以及铁电性和铁磁性能。论文的主要内容如下：
1. 采用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO /Si(111)基片上制备了多晶BiFeO 薄膜，探索薄膜制
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备过程中的工艺参数，分析沉积气压、退火温度对BiFeO 薄膜结构的影响，制备出性能
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优异的BiFeO 薄膜。研究Pt/BFO/Pt 电容器的铁电性能、漏电流密度等特性，并探究其导
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电机理。
2. 在SrTiO (STO)(001)衬底上成功生长了外延BiFeO 薄膜，讨论生长温度对BiFeO
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结构的影响。综合考虑工艺条件对BiFeO 薄膜铁电性能的影响，归纳出制备BiFeO 薄膜
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最佳的工艺条件。对不同上电极材料的BiFeO 薄膜电容器漏电流密度和铁电性能进行分
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析，主要对SrRuO /BiFeO /SrRuO 异质结的电学特性、漏电流及其导电机理进行详细研
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究。
3. 制备BiFe Mn O 外延薄膜，研究生长温度对BiFe Mn O 薄膜结构和性能
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的影响，实验发现Mn 的掺杂能有效的提高BiFeO3 薄膜的剩余极化强度，
SrRuO /BiFe Mn O /SrRuO 电容器具有较好的电滞回线、抗疲劳特性和保持特性。
3 0.95 0.05 3 3
4. 采用第一性原理对铁电材料Bi Ti O 经历氮氢混合气氛退火后铁电性能退化机
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制进行理论研究。分析体系总能量、电子云密度分布以及电子结构的总能态密度的变化。
结果表明，氢的引入阻碍了Bi Ti O 从四方顺电相到正交铁电相的相变，同时造成
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Bi Ti O 晶体的导电性能增强，并推断其为含氢气氛退火过程中Bi Ti O 铁电性能退化
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的主要原因。
关键词 BiFeO BiFe Mn O 磁控溅射 多铁性 Bi Ti O
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