基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ７ 犞狅犾．２９ 犖狅．７ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ７ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犑狌犾 ２００８ 狔 基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与 阶跃信号响应模型  戴 强 于 奇 饶 青 周 伟 杨谟华 　 　 　 　 　 　 　 　 （电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都　６１００５４） 摘要：源于概率统计理论，针对梳齿电容的微细加工偏差，给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时，单 边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型 经过有限元仿真和 模拟验证，结果表 ． 犕狅狀狋犲犆犪狉犾狅 明理论模型与仿真值之差小于 模型指出，当梳齿间距偏差由 变化到 ，加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号 １０％． ０ ２０％ 作用时，其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降 该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工 １０％ １５％． ～ 作范围预先评估与设计． 关键词：微加速度计；梳齿间距；冲击与阶跃信号响应物理模型；可靠工作范围 ： ； 犈犈犃犆犆 ２５７５ ７２３０ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖４０１ 犃 ０２５３４１７７２００８０７１３９１０５ 　　　 　　　 正对面积； 梳齿电容两端有效电压； 第 个梳齿 犞 犪犻 犻 １ 引言 犵狆 　 刻蚀的实际间距 设 为版图的理想间距，若 为梳齿 ． 狌 δ 对 犕犈犕犛梳齿电容式加速度计，电容极板间距是 间距加工偏差范围，则 在［ ， ］区间任一 犪 狌－ 狌＋ 犻 δ δ