基于ATE的IC测试原理、方法及故障分析.pdfVIP

第 卷 增刊 半 导 体 学 报 ２７ 犞狅犾．２７ 犛狌 犾犲犿犲狀狋 　 　 　 　 　 　 狆狆 年 月 ， ２００６ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犇犲犮．２００６ 基于 的 测试原理、方法及故障分析 犃犜犈 犐犆 ， 潘曙娟１ 钟 杰２ 　 　 （ 中国科学院微电子研究所 杭州分部，杭州 ） １ ３１００５３ 　 （ 浙江大学信电系 通信与信息处理研究所，杭州 ） ２ ３１００２７ 　 摘要：介绍了基于犃犜犈的集成电路的测试原理和方法，包括电气特性测试原理和功能测试原理，详细地介绍了通 用的测试方法以及一些当今流行的比较特殊的测试方法，并以一个功能较为全面而典型的具体电路为例进行了常 见的故障分析． 关键词：通用测试仪；直流／交流参数测试；功能测试；扫描 ： 犈犈犃犆犆 ７２１０犃 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖４０７ 犃 ０２５３００３５４０４ 　　　 　　　 ，称之为量产测试 量产测 犿犪狊狊 狉狅犱狌犮狋犻狅狀狋犲狊狋 ． 狆 引言 试在整个 生产体系中位于制程的后段，其主要 １ 犐犆 　 功能在于检测 在制造过程中所发生的瑕疵和造 犐犆 随着我国集成电路产业的飞速发展，集成电路 成瑕疵的原因 因此，量产测试是确保 产品良好 ． 犐犆 测试和服务在产业链中的作用将越来越大 专业化 率，提供有效的数据供工程分析使用的重要步骤． ． 的集成电路（ ）测试业是集成电路产业中一个重 犿犪狊狊 狉狅犱狌犮狋犻狅狀狋犲狊狋以测试时间计费，同时测试设