传感器及其信号调理技术 教学课件 作者 徐湘元 第5章（1）.pptVIP

第5章 气敏传感器与湿敏传感器 【内容提示】 气敏传感器和湿敏传感器的检测对象是与周围环境密切相关、同时影响人们安全与健康，以及工农业生产的物理量和化学量。在一些易燃易爆、有毒有害的工作现场，需要敏感有效的检测和重要及时的预警；在一些车间仓库、种植培育基地，时刻需要监视环境的湿度及其变化。在这些作业现场和位置的任何粗心大意，将导致不可挽回的重大损失。本章介绍这些重要气体及其浓度、潮湿程度的甄别与度量技术。 5.1 气敏传感器 5.1.1 气敏传感器概况 气敏传感器（gas sensor／transducer）是利用物质对气体的物理效应或化学效应来检测气体的类别、浓度和成分的器件。它主要用于天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制。在保护人类赖以生存的自然环境和公民财产安全、防止各种不幸事故发生方面，气体传感器起着难以替代的作用。 由于气体的种类繁多，性质各异，不可能用一种传感器检测所有类别的气体。迄今为止，人们已经发明并制造了许多能实现气／电转换的传感器。它们大致可分为：半导体气敏传感器、固体电解质气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器、电化学气敏传感器和其他类型气敏传感器，具体见表5-1所示（略）。其中，半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应快、稳定性好、使用简单、产品更新快等特点，应用最为广泛。因此，本节主 要介绍半导体气敏传感器。 半导体气敏传感器是利用半导体材料与气体接触时电阻和功函数发生变化的效应来检测气体成分或浓度的传感器。按照半导体与气体相互作用的部位划分，半导体传感器可分为表面控制型和体控制型；按半导体物理性质分，又可分为电阻式和非电阻式，电阻式半导体气敏传感器是利用其电阻值的改变反映被测气体浓度，而非电阻式半导体气敏传感器则利用半导体功函数对气体进行直接或间接检测。 5.1.2 电阻型半导体气敏传感器 利用半导体与气体接触时其电阻值发生变化来检测气体成分与浓度，敏感元件多数采用氧化锡（Stannic oxide, SnO2）、氧化锌（zinc oxide, ZnO）等较难还原的金属氧化物材料，也有采用有机半导体材料的。有些在气敏元件材料中掺入少量铂等贵重金属作催化剂，以提高选择性。它通常分为三种类型：烧结型、薄膜型和厚膜型。 1. 表面控制型电阻式气敏传感器 （1） 结构 烧结型气敏元件的制作是将敏感材料，如 SnO2、InO，以及掺杂剂铂（Pt）、铅（Pb）按照一定配比用水或粘合剂调和，经研磨后均匀混合，然后用传统制陶的方法进行烧结。烧结时埋入测量电极和加热丝，并将电极和加热丝引线焊在管座上，最后用不锈钢网外壳封装而成。这种元件分为内热式和旁热式两种，如图5-1所示。它一般用于还原性气体、可燃性气体和液化气体。 表5-1 气敏传感器的主要类型（略） 1、2、4、5—电极 3—加热器 6—烧结体 7—陶瓷绝缘管 A) 内热式 B) 旁热式 内热式器件管芯体积小，加热丝埋在半导体材料内，其特点是：成本低、功耗小，但是热容量小、易受环境气流影响，测量电路与加热电路之间无隔离，易相互影响；旁热式气敏器件的管芯是在陶瓷管内安放高阻加热丝，在瓷管外安有电极，电极外涂气敏半导体材料。其特点是测量电极与加热丝分离，避免了电路间的相互影响，元件热熔大，降低了环境气体对元件的影响。 薄膜型气敏器件是在绝缘衬底（如石英晶片）上，蒸发或溅射上一块氧化物半导体薄膜（厚度为数微米），其结构如图5-2所示。该型结构的气敏器件特点是机械强度高、成本低，但是器件的性能与工艺和薄膜的物理化学状态有关，元件之间的一致性差。 图5-1 烧结型气敏元件结构 5-3 厚膜型元件结构 厚膜型气敏器件是将半导体氧化粉末、添加剂、粘合剂和载体混合，配成浆料，然后用丝网印刷的方法将浆料印到基片上，形成厚度为数微米到数十微米的厚膜，经400～800℃温度烧结一小时而成，如图 5-3 所示。该型气敏器件机械强度高、器件一致性好，适合批量生产，灵敏度与烧结型气敏器件相当，应用前景被看好。 以上三种结构的气敏元件均附有加热器，其目的是通过燃烧，去除附在元件表面的油污和尘埃，加速气体吸附，提高元件的灵敏度和响应速度。加热温度一般在 200～400 ℃，具体视气体而定。 （2）工作机理 半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被 5-2 薄膜型元件结构 8—加热器 9—绝缘