传感器技术 教学课件 作者 陈建元 第二章 阻抗式结构性传感器1.pptVIP

2.自感式电动阀门扭矩测量系统 图2.85感式扭矩测量装置 1 机体 2 轴承 3 蜗杆 4 线圈 5 铁芯 6 联轴器7 电机 8 蜗轮 图2.86式扭矩测量装置测试电路原理图 2.7.4 微机械传感器 微机械传感器利用硅片的刻蚀速度各向异性的性质，和刻蚀速度与所含杂质有关的性质，以及光刻扩散等微电子技术，在硅片上形成穴、沟、锥形、半球形等各种形状，从而构成膜片、悬臂梁、桥质量块等机械元件。将这些元件组合，就能构成微型机械系统。利用该技术，可将弹簧、透镜、喷嘴、调节器等，以及检测力、压力、加速度和化学浓度等量的传感器，全部制作在硅片上。目前已成功地将构造十分复杂的，用于气体分析的色谱仪制作在一块直径仅50nm的硅片上。由于以电容传感原理和静电驱动原理的微机械结构传感器已经进入成熟发展阶段。以下将介绍ADXL50微机械加速度传感器。 ADXL50是一种叉指式状电容式硅微型加速度计(Finger-shaped Micromachined Silicon Accelerometer，简称FMSA)。由美国AD公司和德国Seimens公司联合研制，主要用于汽车上的安全气囊，目前已形成系列产品，包括59、509单自由度和双自由度的产品。 叉指式硅微型加速度计的结构如图2.87所示 图态2.87 叉指式硅微加速度计结构简图 (a)静止状态;(b)活动状态 ADXL5O是集成在一片单晶硅片上的完整的加速度测量系统。整个芯片面积约3mm×3mm，其中，加速度敏感元件部分边长为lmm，信号处理电路则布于四周。 ADXL50敏感元件，连同测试回路都封装在壳体中，其外形尺寸如图2.89所示。 谢谢！ * 2.5．4 直接放大 1.运算放大器直接放大 图2.68为其电原理图。CX为传感器电容，它跨接在高增益运算放大器的输入端和输出端之间。放大器的输入阻抗很高（ ），因此可视作理想运算成大器。 图2.68运算放大器直接放大 2.专用集成电路 图2.69 MS3110电容通用读出集成电路 已有一些专用集成电路可用于电容测量。MS3110便是其中一例，内部原理如图2.69所示。 图2.69 MS3110电容通用读出集成电路 3.频率式测量电路： 阻抗式电路还常采用频率式测量电路。将电容式传感器或电感式传感器接入高频振荡器的LC谐振回路中，当被测量变化使传感器的电容或电感改变时，振荡器的振荡频率 随之改变。测定频率或经鉴频器将频率变化转换成电压幅值的变化，就可测得被测量的变化。一种电路如图2.70所示。 图2.70 调频电路原理图 2.6 微机械传感器 MEMS(Micro - Electro - Mechanical Systems) 通常称为微机电系统技术，其含义是指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、包括接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS 可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务；可以嵌入到大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。 由于微机电系统是在微机械传感器基础之上发展起来的，因此微机械传感器不仅具有微机电系统的典型特征，而且是微机电系统中一个非常有特色的独立分支，也是目前微机电系统中发展最快、已经具有实用价值的研究方向之一。 2.6．1 微机电系统的分类和特点 微机电系统是指总尺度在毫米级以下的机电系统，表2-2给出了以尺度为标准的分类 表2-2 微机电系统的分类 微机械系统有以下特点： (1) 微机械中起主导作用的力是表面力。由于体积是长度的三次方，表面积是长度的两次方，因此微机械体积的缩小要快于表面积的缩小。这将使表面力（如摩擦力、静电力）和体积力（如重力）之比相对增大，表面力成为微机械系统统中的主导作用力。随着尺寸的缩小，粘性力、静电力、摩擦力成为影响微机械性能的主要因素。 (2) 材料不同。首先，微机械装置制品的尺寸可能接近甚至小于材料的晶体尺寸，由于尺寸微小，材料的内部缺陷减少，材料的机械性能与常态相比有很大提高，表征材料性能的物理量需要重新定义；其次，微小尺寸下材料会表现出更多的各向异性；再其次，微机械传感器多采用硅作为原材料，也有用石英作为原材料，材料不同将导致系统的性能和工艺与普通机电装置都有很大的区别。 (3)能源供给。对于具有移动和转动功能的微型机械系统, 电缆成为运动的障碍, 所以一般不采用电缆供电。目前微机械一般用静电力供能, 此外常用振动直接激励供能(压电、电磁及形状记忆合金制动)、热力供能等。 （4）由于尺寸微小，微机电传感器的信号十分微弱，相应地外界的干扰信号就显得很大，因此，微机械传感器的信号获取、传输都与传统传感器不同。 （5）