设备总表.xlsVIP

后道 前道 ICP ULVAC NE-550 干法刻蚀台RIE 蒸发台 ei-5z ULVAC EBX-2000 EBX12D 溅射台 cs-200z 管式合金炉 神通 RMR13 快速合金炉 RTP-6 ALL win 21 Corp AW 610 镀膜机 北京仪器厂 DM-450 旋干机 四十五所 CXS-2150A 敦仪 SV-702-M2 高温强酸蚀刻机 千滕 WB-10095 自动去光阻工作站 千滕 WB-10094 WB-10093 WB-10092 显影工作站 WB-10091 ACE工作站 手动曝光机 SUSS MA-56 BGJ-V MA-56.5 MJB-3 自动曝光机 MA100e 自动匀胶机 picotrack 自动显影机 西北机器 自动烘干机 L302001/ZF CD 金属剥离机 8832MD 去胶台 剥离台 等离子去胶机 DQ-500C 键合台 SB8E JPSA激光剥离机 JPSA IX-260 KLA-Tencor 蓝光 主轴旋转速度：Up to 8,000 rpm 传输模式：Cassette to cassette 传输可靠性：200 wafer running Acceleration Range:1,000-50,000 rpm/sec 匀胶旋转速度：50-6000 rpm，Increment 10 rpm 匀胶旋转精度：±3 rpm