金刚石微米聚晶结构的生长及其场发射特性研究.pdfVIP

曼垒蔓箜!垒型互塑鲞塞垦丝塑塑生墨墨基堑塞塾鲎丝塑塞 !!!! 金刚石微米聚晶结构的生长及其场发射特性研究。 高金海1，张兰2，姚宁1，张兵临1 (1．郑州大学物理工程学院。河南郑州450052I2．郑州大学工程力学系，河南郑州450052) 摘要：在覆盖金属坎层的陶瓷上。刺甩微波等离子 体化学气相沉积(MPCvD)法制备出类率状微米金刖 石聚晶薄腱。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、x射线 衍射(XRD)测试了薄膜结构与表面形貌。显示出该膜 衍射，分析了薄膜的蛄构和表面彤纯．测试了类球状 是类球状微米金刚石聚晶镶嵌非晶碳膜结构。场发射 微米盒哪石聚晶膜的场致电子发射特性．开启电扬仅 实验采用了二级管结构．阴极是类球状微米金刚石聚 为O．55V／肛m，在2．18v／肛m的电|哥下，其场发射电、晶碳膜，阳极是玻璃上沉积的透明的、覆盖一层荧光粉 流密度高选1lmA／眦t．对类球状微米金哪石聚晶阵 列形成机理和橱发射机理进行了研究． 5×lO“Pa．用直流电源测试了电流密度一电场特性 关键词： 微波等离子体化学气相沉积；场致电子发 曲线．利用CCD系统测量了发射点密度． 中围分类号：中围分类娄雩黧慧刚石黼文献标讽ATB383；0484 文献标识码：A 3分析和讨论……”…～ 文章编号：l001—9731【2007109—1447·04 图1是类球状微米金刚石聚晶的扫描电镜图像． 从图1(a)中可以看出是经过2h生长的由许多独立的 1引言 类球状金刚石聚晶颗粒镶嵌在衬底上，组成的金刚石 场发射显示器以其低的应用电压。低的成本。大的 聚晶颗粒较均匀分布成点状阵列结构．类球状金刚石 温度适用范围，宽广的视角，极短的反应时间。高清晰 度，高质量画面等优势在未来显示器应用上占有很重 放大图形．每一个类球状颗粒直径约6“m．可以清楚 要的地位o】．由于金刚石．类金刚石、非晶碳具有负的 的看到每一个类球状颗粒都是由很多有规则几何形状 或低的电子亲势口～日．现在人们正在努力把它们制备 的金刚石微粒堆积而成．众多的金刚石微粒的堆积之 成新的场发射显示器阴极．化学气相沉积的方法制备 间就存在众多的交界面．图2是类球状微米金刚石聚 金刚石膜通常利用在大量的稀释气体中通人少量含碳 的气体在衬底上成膜．不同的稀释比例产生不同结构 的是陶瓷衬底的特征峰。明显的1336．2∞-1峰为金 的膜H“o】．在我们的研究中．我们利用微波等离子体 刚石的特征峰．另外，类球状微米金刚石聚晶阵列X 化学气相沉积(MPcVD)法。在金属钛衬底上。在甲烷 射线衍射谱指出。在2口为44’时相应有一个明显的金 的含量与氢气的古量l／10的情况下。在衬底温度 刚石特征峰，也证实了阵列是由金刚石颗粒组成。 800℃的条件下制备出了具有良好阴极场发射效果的 类球状微米金刚石聚晶阵列．尽管国内外已有关于制 备金刚石聚晶的报道[Il“”．但大都是在硅衬底上在 较长时闻生长的聚晶类球状颗粒．像这种直接在金属 钛村底上。制备具有优良场电子发射特性的类球状微 米金刚石聚晶阵列及其生长机理的研究至今报道甚 少． 2实验 圈l美球状微米金刚石聚晶的扫描电钝图像 在陶瓷衬底上通过磁控溅射的方法镀上一层金属 1SEM ofthe di啪ond FIg micrographsglobe-like 钛，经过对金属钛机械抛光后．以此为衬底经过丙酮 由以上的扫描电镜图像，喇曼光谱，X射线衍射谱 超声清洗lomin，去离子水超声清洗10min。再放人