压电驱动超精密定位工作台的研究.pdfVIP

第 19 卷第 2 期 机械设计与研究 Vol. 19 No. 2 　 2003 年 4 月 Machine Design and Research Apr. ,2003 　　 文章编号 (2003) 压电驱动超精密定位工作台的研究 1 ,2 2 3 1 孙宝玉 , 　林洁琼 , 　王登月 , 　任建岳 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 ,长春 　130022 ; 2. 长春工业大学 　机电学院 ,长春 　130012 ;3. 长春市新星锅炉厂 ,长春 　130021) 　　摘 　要 :研究、设计了一种压电式超精密微定位工作台。此工作台在伺服电机驱动的滚珠丝杠进给系统的基 础上 ,采用压电陶瓷作为微位移驱动器 ,柔性铰链为导向机构 ,对工作台运动位置自动补偿 ,实现了超精密定位。 文中对柔性铰链机构进行了合理的设计 , 以实现长行程超精密定位。压电陶瓷配合柔性铰链使用使工作台定位精 μ 度达到 0. 01 m ,可满足精密、超精密加工需要。 关键词 :压电陶瓷微位移器件 ; 精密定位 ; 柔性铰链 ; 线切割 中图分类号: TH703. 8 　　　文献标识码 :A 　　压电陶瓷微位移器件是近年来发展起来的新型微位移 位点时 ,控制接口发出信号使电机停止工作 ,并通知微动台 器件 ,它具有体积小、出力大、分辨率高和频响高的优点 ,并 开始工作 ,此时若由于惯性工作台前行定位点一段距离 ,则 且不发热、无噪声、易于控制 ,是理想的微定位器件[ 4 ,5 ] 。本 由光栅尺测得工作台偏离定位点的距离,控制系统控制微动 文着重对压电陶瓷微定位技术在提高滚珠丝杠副的定位精 台使压电陶瓷在原来的基础上缩短相应距离。同样 ,工作台 度方面进行了研究。 若未到达定位点 ,则控制系统控制微动台伸长相应距离 , 以 1 　微定位工作台的设计 补偿工作台的移动偏差。由于压电陶瓷响应速度快 ,在伸长 　　为提高滚珠丝杠副的定位精度 ,采用压电陶瓷微位移器 和缩短过程中无机械噪声和振动 ,每脉冲的位移当量可依据 件来补偿工作台由滚珠丝杠副驱动后偏离定位点的位移 ,即 实际情况进行调整 ,这样就显著地提高了定位系统的调整灵 采用二级闭环定位控制方案。由伺服电机控制精密滚珠丝 敏度和调整速度 ,达到高精度的定位要求。 ( μ 杠副传动实现工作台一次粗定位 此时定位精度可达 m 2 　微定位工作台关键部件分析 ) 级 ,整个移动和停止过程受计算机指令控制。为提高工作 　　组成微定位工作台的关键部件是压电陶瓷驱动器和柔 台定位的准确性 ,一方面工作台上的测距系统不断地将工作 性铰链导向机构 ,压电陶瓷输出位移过小和柔性铰链在导向 台的实际位置馈送到伺服电机的控制接口;另一方面 ,要求 过程中产生的附加位移 ,都直接影响工作台的定位精度。因 运行中的伺服电机做到低速起动 ,高速运行 ,最后低速停准。 此 ,需对两者进行深入的研究和合理的结构设计。 但由于伺