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中国电子学会敏感技术分会电压敏第十一届学术年会暨海峡两岸首届技术研讨会专刊 ESD防护用压敏电阻器 陈佑学，张俊峰，夏波，石微静 (陕西华星压敏电阻器厂 712099) 1 垦言 1 寸口 静电问题存在于航空、航天、电子、能源特别是在军工、火工生产中，石油、煤气工业的生产灌 装、储运过程中，化工、胶片、橡胶作业的生产和电子产品(如计算机、cMOS器件等)生产中引起 的安全问题和质量问题，更为人们所关注。氧化锌压敏电阻器作为ESD保护的措施，它在静电 防护中的应用呈现出很大的优越性，有着很好的市场前景。 2 静电及危害 静电起因主要是接触起电和感应起电，通常所说的摩擦起电就是典型的接触起电。人体静电 v，则人 是工业中存在的主要静电，据有关测定，如果人对地面电容为200斗F，人体带电压为200 体带电能量为o．4 IIlJ。这比汽油和空气混合物的发火极限(o．2 IIlJ)要高出l倍。如表一示，静电 电压通常可达到数万伏以上，静电泄放电流可达数十至数百安培，静电放电产生的电磁场强度很 强(近场峰值电场可达几百伏／m到几千伏／m)且频率非常宽，几十兆至几千兆以上。按照 时间为O．7～1．0ns。 表1 人体静电电位示例 ＼ J，-、 人体活动 静电电位(KV) I RH RH 乙／ (10一20)％ (65—90)％ 人在地毯上走动 35 15 ‘＼． 3 人在乙烯树脂地板上行走 12 O．25 ‘＼＼． 人在工作台上操作 6 O L 包工作说明书的乙烯树脂封皮 7 0．6 41：：!堕 一 ∞佛 一 从工作台上拿起普通聚乙烯袋 20 1．2 一 肺哺 ． 从热有聚氨基甲酸泡沫的工作椅上站起 18 1．5 ： 图l IEc一6100一4—2中静电泄放电流波形 基于这些特点，静电在泄放时会发生火花、能量注入、电磁感应和电磁辐射，对泄放路径