机械制造工艺学 第3版 教学课件 作者 郑修本 1第八章 现代制造技术.pptVIP

第三节 超精密加工与微细加工技术 一、超精密加工技术 1、概述 把能按照超稳定、超微量切除等原则实现加工尺寸误差和形状误差在01μm以下的加工技术，称为超精密加工技术。 2、金刚石刀具超精密切削加工 (1)金刚石刀具 1)超精密切削对刀具的要求。 2)金刚石刀具的刃磨。 (2)超精密切削加工的微量进给装置 1)超精密切削对微量进给装置的要求。 2)压电陶瓷微量进给装置简介。 图8-14 3、超精密磨料加工 (1)固结磨料超精密加工 (2)游离磨料超精密加工 二、微细加工技术 1、微细加工技术的概念 以形状尺寸微小或操作尺寸极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。 2、微细加工技术的分类及应用 目前常使用的微细加工方法主要分以下几种： (1)微细机械加工 (2)微细电加工 (3)微细高能束加工 (4)光刻加工 三、纳米加工技术 1、纳米技术的内涵 目前，纳米技术研究的主要内容包括： 1)纳米级精度和表面形貌测量及表面层物理、化学性能检测。 2)纳米级加工技术。 3)纳米材料。 4)纳米级传感与控制技术。 5)微型与超微型机械。 2、纳米加工技术简介 STM工作原理是基 于量子力学的隧道效应， STM有两种测量模式： (1)等高测量模式 (2)恒电流测量模式 图8-15 图8-16 第