製備納米TiO2%2fITO光觸媒薄膜應用於丙酮分解效率探討.pdfVIP

颗粒学最新进展研讨会一暨第十届全国颗粒制备与处理研讨会 onPanicle And l 2011年I1月SymposiumonRecent in NationalConference PreparationTreatmentNov．201 ProgressParticuology一10m 裂借纳米Ti02／ITO光髑媒薄膜虑用於丙酮分解效率探射 蔡惋宏郭柏成袁中新 (中山大睾碾境工程研究所．台湾) 米梭合光桶媒Ti02／ITO封内酮分解效率之测弑。韭退一步探封溅镀裂程参数及光催化操作参数封内酮分解效率之影警。本研究 以自裂批次皿式光催化反感器造行光催化分解丙酮寅髓，寅酸探衬之操作参敷包括光波畏(350--600 nm)、桶媒稳颓(翠眉厚度捣 nm 355--638 Ti02／ITO)、丙酮初始渡度(50--250 南最高，其次则药Ti02，毛玻璃舆TiO，／玻璃。奉研究结果表明溅皴150 105 率南2．35x pmole／cm2-s。 阴键宇：真空溅镀法；纳米光桶媒；光催化氧化；丙酮分解效率 一、前言 目前光桶媒焘品所使用的光桶媒材料以Ti02锅主，使用Ti02的原因包括：光催化活性高、具良好物化安定性、 羯燕害燕毒性物赏、偎格低廉等。但是■氧化钛的缺黠则是能隙较人(3．2eV)．必须使用紫外光或近紫外光做锅诱猿 光源，若能麴阴霰具侑卜述傻黠又可被可兑光诱骚的Ti02材料，封於光桶媒技衍的虑用将有莫人突破及助益。目前 et 光桶媒(吴tf7氨2007)．(2)添加贵重会餍(hRh等)改霞(Linsebiglera1．，1995)．(3)添加非金属(卜L et et a1．，2008)。(4)外加魄埸形成光，电催化效虑(李宛样，2009)。(5)裂借梭合光桶媒(Wua1．，2008)。递挥逋常之半尊 髓舆Ti02梭合是光桶媒研究之一大磔题，理谕．卜以能隙较小、激鹱波畏较艮之光桶媒舆Ti02梭合虑是较佳之遽挥。 钢．锡氧化物薄膜(indium．tin et 之可兑光诱较之光催化特性，近戏年逐渐舄光催化领域所重视(Wua1．，2008)。其他钢梭合氧化物(indiumcomplex eV、2．6eV 和1．8ev)，激镀吸收光波畏可移至可兑光匾，目前在可兑光催化遇原或可兄光旃骧疏水性等研究上，皆颞示具有相 et a1．，2001)。 喾高之可行性(Zou vacuum 本研究旨在利用磁挖真窄溅皱法(magnetron 薄膜，遣行不同操作参敛(如：丙酮初始渡度、反虑温度、氧氟含量、光波艮)之光催化分解反虑寅验，藉以隙解光 催化反感楗制。 二、研究方法 10000等级之典lI庵室内，除可 本研究之真窄溅镀；i殳臂舂提供多靶磁柠溅镀系统(multi-targetsputter)，段臂於Class 且幕磁真窄度最高可连5×10。6torr，溅铍畴最低操作墅力舄2mtorr。寅酸中可同畴使用ITo靶及金周钛靶，金属钛 靶置於右侧之靶座月．使用最遮合金属靶材之直流氆(DC)作粥翰m氆流，ITO靶剐臂於最遍合半撙髓靶材之高迥波 (RF)翰m魄流之靶座。放置弑片檬品之袱骼幕座卜，放簧有一部旋帕属速．可缝由段定旋《ilI瞄遽之帕速，使溅皱遇 程中弑片卜j埠膜能均匀分怖。籍以提升溅镀裂晶之品贾，月．於被舷幕座卜：端放裂一加热器，必要畴可将哦舷卜之檬 182