全硅基电光调制器研究动向和发展趋势.pdfVIP

激光与兴电字学进展 51，110009(2014) Laser OptoelectronicsProgress ~2014{中国激光》杂志社 全硅基电光调制器研究动向和发展趋势 李智勇 徐 浩 肖希 Nemk0vaAnastasia余金中俞育德 中国科学院半导体研究所集成光电子学 国家重点实验室，北京 100083 摘要 硅光子学在近几年迅猛发展 ，各国重要的研究机构和产业部门纷纷加入竞争，不断刷新各种器件 的性能指标记 录。全硅基 电光调制器作为该领域中极其重要的研究方向之一，受到 国内外同行的广泛关注。随着全硅基电光调制器 研究工作的积累和深入 ，高速率 (大于等于50Gbit／s)、低功耗 (小于等于40fJ／bit)和小尺寸(小于等于 100¨m)等关键 性能逐步提升。 目前 ，调制速率的最新研 究结果 已突破 了60Gbit／s并向更高 目标迈进 ，未来在极低功耗和规模集成等 方面还将 出现较大突破 ，适应巨容量光通信、高密度光互连、大数据光传感等应用技术 的需要 。 关键词 硅光子学 ；电光调制器 ；高速率 ；低功耗 ；小尺寸 中图分类号 O439 文献标识码 A doi：10．3788几OP51．110009 RecentProgresson Researchand DevelopmentofElectro—-Optical M Odulatorson Silicon SUbstrates LiZhiyong XuHao XiaoXi NemkovaAnastasia YuJinzhong YuYude NationalKeyLaboratoryforOptoelectronicIntegration，InstituteofSemiconductors，ChineseAcademyofSciences Be ing 100083，China Abstract Dueto itsgreatachievementsoverthelastfew years，siliconphotonicsisnow afocusedtopicin many conferencesand forum s．Am ong the key photonic blocks，an opticalm odulatorbased on a silicon substrateisoneofthemostattractiveissuesforscientistsandengineers．Accordingtothereportedstate—of—art experimentalresults，siliconbasedopticalmodulatorshaveperfectoperationspeed(no1essthan50Gbit／s)，low powerconsumption (nomorethan40fJ／bit)andsmallfootprint(nomorethan100 m )．Tillnow，themost recenttesteddataratereaches60Gbit／s．Moreresearchanddevelopmentfocuseonhigherenergyefficiencyand higherintegration density，which are required by opticalcommunication，opticalinterconnect and optical sensing，tobuildinformation infrastructuresw ithultra—largebandw idth，muchhighdensityandvery—bigdata． Keywords siliconphotonics；opticalmodulator；high—speed；low powerconsumption；smallfootprint 0CIS codes 250．5300；250．7360；130．4110；230．2090；13