微型正交激励磁通门结构设计.pdfVIP

第27卷 第7期 传 感 技 术 学 报 V01．27 No．7 2014年 7月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS July2014 StructuralDesign ofOrthogonalM icro—Fluxgate GUOBo，LIU Shibin ，YANG Shanglin (SchoolofElectronicsandInformation，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710000，China) Abstract：In thispaper，oahogonalmicro—fluxgateswithwire—core structurewere simulated and anlysed by three— dimensionalelectromagneticsimulationsoftware．The influenceofthesturcturepraameterslikethewidth ofexcitation wire，thewidth ofcore，the thicknessofexcitation wire，the thicknessofcoreon core saturation condition were investigatedatdifferentexcitationfrequency．Reducingexcitation currentandenhancingsensitivityweretaken asthe target，thenthestructureoforthogonal micro—fluxgateswithwire-coresturcturewereoptimized．Theoptimizedorthogonal micro—fluxgatewasfabricatedbasedonMEMS(Micro—Electro—MechnaicalSystem)technology．Whenthesensorwas excitedbypulsecurrent．91．6v／T sensitivitycanbeobtainedwithultralow powerconsumptionof1．9mW ． Keywords：electronicscienceand technoloyg ；magnetsimulation；micro—fluxgate sensor；orthogonalfluxgate；low powerconsumption EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2014．07．011 微型正交激励磁通 门结构设计水 郭 博，刘诗斌 ，杨尚林 (西北工业大学电子信息学院，西安710129) 摘 要 ：利用三维电磁场仿真软件对线一芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽 度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为 目标，讨论了采用线一 芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro—Electro—MechanicalSystem)_r艺制备了这种结构尺寸的 微型磁通门传感器并对其进行了测试，采用尖脉冲激励时，其可以以1．7mw 的超低功耗得到91．6V／T的输 灵敏度。 关键词 ：电子科学与技术；Magnet仿真；微型磁通门；正交激励磁通门；低功耗 中图分类号 ：TN402；TM936．2 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2014)07-0910-06 磁通门传感器作为一种性能优 良的磁测量器 提高激励频率来提高微型磁通 门灵敏度 。为解 件 ，在航 向系统、航空航天、生物医学、电流测量、舰 决上述问题，需要对微型磁通门结构进行优化 。使 船消磁、交通管控、汽车工业等诸多领域得到了广泛 得铁