纯水系统规划及基本设计.doc

Pure Water System Plan and Basic Design Guide 纯水系统规划及基本设计作业指引 技术手册 高科技项目/水气化组 目 录 章节 页次 1.0 系统简介 3 2.0 设计准则 1.0 系统简介 1.1 基本概念 超纯水之定义 DI Deionized , DI Water Deionized Water，为去离子之意，亦即通称之纯水 PURE WATER ，近来由于半导体制程对design rule之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对纯水水质的要求也越趋严格，在此一严格水质要求下所制造出来称之超纯水 Ultra-pure water 。 其狭义之意义：为去离子之水，将水中之离子 如Na+、Ca++、Mg++、AI+++、C1-、F-、SO4--、NO3-、etc. 予以去除，降低其离子浓度，提高水之电阻值 Ω-cm 。 其广义之意义：为除了除去水中离子之外，亦将水中之SiO2，Particles，Bacterizes，Organic Matters，Microbiology 一并予有限度的去除，使水达到完全纯净的程度，而用于电子工业之上。 纯水纯净度判定要项 1 Resistively MΩ-cm 2 Particles PSC/cc 3 Bacteria COLONIES/100cc 4 T.D.S PPM 5 T.O.C PPB 6 S1O2 PPB 注：T.D.S TOTAL DISSOLVED SOLIDS T.O.C TOTAL ORGANIC CARBON 纯水使用的场合 实验室 电子工业 制药工业 水中不纯物包括如下 D.S. DISSLOVED SOLID S.S. SUSPENDED SOLID ORGANICS MICROBIOLOGICS DISSOLVED GAS 天然水的特性： 地表水 LAKE RIVER ： 较少含DISSOLVED MINERAL，但含大量S.S.，有机物 树叶，生活污水等 and D.G. 来自大气和有机物的分解 。 地下水 井水 ： 较少含S.S.和 D.G. 但含较高的DISSOLVED MINERAL 例如：Ca and SiO2 。 自来水： 无菌、无色、无臭。 若添加过量氯〝C12〞则会导致刺激性嗅味 不纯物之测量 表一是一份参考的原水水质不纯物分析表，据此可决定如何适当设计净化设备以达到经济原则，近来的自然水 不含海水 所含不纯物总量已非常稀少，因此所分析出之不纯物以PPM PARTS PER MILLION 或MILLIGRAMS PER LITER MG/L 来表示。 根据化学原则某些矿酸盐及酸、碱类物质在水中解离成带电离子状态，倘通以电流会形成通路，若水中带离子越多则通过电流越大，亦即水中电阻极低。 TABLE 2 由电阻值-导电度及水中D.S.换算表得知，一但测得水中溶解固体离子之PPM值。 电阻值换算为PPM值通常是对标准液NaCl 而言，因此当测得1 PPM之D.S. 并不表示水中仅含 NaCl，而可能含有其他的固体离子。 我们所测得的电阻/导电度仅可得知水中所含D.S. 之总数，至于水中所含有机物、胶羽、细菌和PYROGENS 并不影响水 之电阻/导电度值，而必须用其他方法来测知，所以我们平常说高阻值的水即高水质的纯水是不对的，然而，蒸馏水虽不含有机物和细菌但电阻值仍低乃因水中吸附CO2所致。 表1.Water Analysis data of feedwater Provided reference data pH 7.8 at temperature 18℃ Conductivity 3.6×102 us/cm at 25℃ TDS 2.6×102 mg/L KmnO4 2.2 mg/L Total Hardness 150 mg/L as CaCO3 Ca++ 92 mg/L as CaCO3 Mg++ 38 mg/L as CaCO3 Na+ 26 mg/L as CaCO3 K+ 3.5 mg/L as CaCO3 Total Cation 159.6 mg/L as CaCO3 Total Fe 0.05 mg/L as Fe Total Mn 0.02 mg/L as Mn HCO3- 90 mg/L as CaCO3 SO4- 63 mg/L as CaCO3 Cl- 16 mg/L as CaCO3 NO3 2 mg/L as CaCO3 Total Anion 170.5 mg/L as CaCO3 SiO2 12 Mg/L as SiO2