微波等离子体化学气相沉积 装置的工作原理.pdfVIP

　　　　　　　　　　　　　　　　　V acuum 　　C ryogenics 　　　　　　　　　　　　1997 年 6 月 74 微波等离子体化学气相沉积 装置的工作原理 吕庆敖　邬钦崇 ( 中国科学院等离子体物理研究所, 合肥　230031) ( 收稿日期 1997- 01- 19) WORK ING PR INC IPL E OF M ICROW AVE PLASM A CVD SET UP 　 L üQingao W u Qinchong ( , , 230031)