LSS法制备的SnO2气敏特性研究.pdfVIP

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第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 v01.29№.4 三塑墨堡兰旦 一 一 。堡垡呈箜皇!Q坚婴垒!竺!塾i曼坐堕里!堕翌堡竺坐 垒匹兰塑苎 LSS法制备的Sn02气敏特性的研究木 梁喜双尉国栋刘凤敏钟铁钢全宝富 、 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院长春130012) nnl左右。 表现出较好的气敏特性。 关键词Sn02LSS法CO乙醇气体传感器 ResearchonGas of LSSMethod Sn02 sensingPropertiesPreparedby Wei Liu Baofu GuodongFengminZhongTiegangQuan LiangXishuang on Scienceand dilin (StateKeyLaboratoryIntegratedOptoelectronicsCollegeofElectronic EngineeringUniversity 2699 Street 130012 Qianjin ChangchunChina) Abstract were obtained was Sn02 quantumdotspreparedby sample confirmedtobenano-materialswithsmall XRDandTEM size(4nm)by Ru02 crystallite analysis.After were (O.3wt%)、Sb203(2wt%)、Ce02(2wt%)、Si02(2wt%)andPdCl2(2wt%)powders addedinto welland sensorwasattained.Underthe sintered,a Sn02 Sn02nano-materials,mixed goodproperty currentof1 00 sensorexhibited toCOand operating mA,the goodsensingproperties C2HsOH. WOrds LSSmethodCOethanoIsensor Key Sn02 gas 1 引言 材料中,得到了具有良好气敏特性的Sn02基元件。 Sn02作为敏感材料的优越性已得到广泛认可,2实验部分 通过对其进行不同的掺杂可以制得如H2、H2S、CO 等气体传感器【l卅。目前,制备sn02材料

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