检测技术 教学课件 作者 卜云峰 主编 第八章 气敏传感器1.ppt

1.工作原理 烧结型半导体陶瓷材料，一般是具有多孔结构的多晶体，而且在其形成过程中伴有半导体化过程。半导体陶瓷多为金属氧化物材料，其半导体化过程通常是通过调整配方、进行掺杂，或通过控制烧结气氛来故意造成氧元素过剩或不足而实现的。半导体化的结果是使晶粒中产生大量的载流子——电子或空穴。这样，一方面使晶粒内部的电阻率降低，另一方面又使晶粒之间的界面处形成界面势垒，使得界面处的载流子耗尽而出现耗尽层。因此，晶粒界面的电阻率将远大于晶粒内部的电阻率，并且成为半导体陶瓷材料在通电状态下的主要电阻。当水分子在湿敏半导体陶瓷材料的表面和晶粒界面间吸附时，会使材料表面和晶粒界面处的电阻率发生变化，从而具有湿敏特性。 2.MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿敏元件 图9-6　MgC-Ti 3.MgCr2O4-TiO2湿敏元件的性能 (1)元件的感湿特性曲线　MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿敏元件的感湿特性曲线如图9-6所示，图中列出了松下-Ⅰ、松下-Ⅱ、SM-1型湿敏元件的感湿特性曲线。(2)元件的加热清洗特性　由于湿敏元件多在较为恶劣的气氛中工作，元件上会吸附环境中油雾、粉尘以及有害气体，结果导致元件的有效感湿表面积减小，使元件的感湿性能退化，精度降低，甚至会导致感湿功能丧失。(3)元件的性能指标　MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷湿敏元件的主要性能指标包括：湿度量程、使用温度、灵敏度、响应时间等详见表9-1，供使用时参考。 (1)元件的感湿特性曲线  图9-6　MgC-Ti湿敏元件的感湿特性曲线 (2)元件的加热清洗特性 图9-7　SM-1型湿敏元件的加热清洗时阻值的瞬态变化曲线 (3)元件的性能指标　 表9-1　MgC-Ti半导体陶瓷湿敏元件的性能指标 二、湿—气多功能元件 由于MgCr2O4-TiO2半导体陶瓷为多孔结构，它不仅吸附水汽，而且在高温下某些氧化或还原性气体可以在陶瓷晶粒表面上产生化学吸附，从而改变陶瓷体的导电能力，因此，这种半导体陶瓷既可测量湿度，也可检测某些还原性气体，利用此测量可制成湿—气多功能元件。 三、湿—温多功能元件 图9-8　BaTi-SrTi多功能敏感元件的等效电路 第四节　湿敏传感器的应用 一、湿敏传感器应用电路设计要点二、湿敏传感器的应用电路 一、湿敏传感器应用电路设计要点 1.为传感器供电的电压波形2.传感器输出信号的处理3.温度补偿4.线性化电路5.湿敏传感器的使用 1.为传感器供电的电压波形 通常，气敏传感器使用交流信号。由于交流信号会直接影响传感器的特性、寿命以及可靠性，故最适宜选用失真非常小的正弦波，并且波形应以0V为中心对称。 2.传感器输出信号的处理 由于湿敏传感器的湿度—电阻特性呈指数规律变化，则湿敏传感器输出的电压(或电流)也呈指数规律变化。当相对湿度在30％RH～90％RH范围内变化时，其电阻值会变化1万～10万倍。故要用对数压缩电路来解决此问题，具体就是利用硅二极管正向电压和正向电流呈指数规律变化可构成运算放大电路。 3.温度补偿 由于湿敏传感器与温度有关，故需要对其进行温度补偿。一种方法是利用对数压缩电路，因为其中的硅二极管的正向电压具有-2mV/℃的温度系数。另一种方法是使用负温度系数的热敏电阻进行补偿。但利用此种方法时要求湿敏传感器的温度特性必须接近一般的热敏电阻的B常数(B＝4000)，因此，当湿敏传感器的温度特性较大时，此种方法很难奏效。 4.线性化电路 通常，很难得到与湿度呈线性变化的输出电压。为此，当需要准确显示湿度值时，必须引入线性化电路，以便将传感器的输出信号变换为与湿度成正比的电压。经常采用折线近似法来对输出信号进行线性化。 5.湿敏传感器的使用 湿敏传感器应尽量安装在空气流通的环境中，以缩短响应时间。当需要延长传感器引线时应注意：延长线应使用屏蔽线，距离最长不应超过1m，裸露的引线应尽可能地短；在10％RH～20％RH的低湿度区，由于所受影响较大，需对测量值和精度进行确认；进行温度补偿时，温度补偿元件的引线也要进行屏蔽和延长，并尽量靠近湿敏传感器安装。 二、湿敏传感器的应用电路 1.自动气象站遥测2.汽车风挡玻璃自动除湿装置3.湿敏传感器测湿电路4.湿度—频率转换电路5.采用湿敏集成传感器的湿度测量仪电路 1.自动气象站遥测 图9-9　自动气象站湿度测报原理框 2.汽车风挡玻璃自动除湿装置  图9-10　汽车风挡玻璃自动除湿装置电路 3.湿敏传感器测湿电路 图9-11　采用HS15湿敏传感器的测湿电路 4.湿度—频率转换电路 图9-12　湿度—频率转换电路 5.采用湿敏集成传感器的湿度测量仪电路 图9-13　带温度补偿的湿度测量仪电路 3.利用吸附平衡值温度依存性取出信号 气敏元件对气体的吸附，很大程