CO2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究.pdfVIP

李 娇 等：CO2气体反应磁控溅射制备Ti—O薄膜成分和结构研究 20133 文章编号 ：1001—9731(2014)20—20133—05 CO2气体反应磁控溅射制备 Ti—O薄膜成分和结构研究 李 娇 。，文 峰 ，谢 东。，潘长江 ，丁红燕 (I．淮阴工学院江苏省介入医疗器械研究重点实验室 ，江苏 淮安 223003； 2．海南大学 材料与化工学院材料工程系 ，热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室，海 口570228； 3．西南交通大学 物理科学与技术学院，成都 610031) 摘 要 ： 室温下采用反应磁控溅射的方法，利用 CO 几率 ，从而提高 TiO 表面对光的吸收利用 能力。研 作碳源和氧源制备 了碳掺杂 Ti—O薄膜。x射线衍射 究表 明，采用金属和非金属掺杂 TiO。可降低其带隙 (XRD)、光射线 电子 能谱 (XPS)和拉 曼光谱 用于表征 宽度 ，展宽可激发光催化响应的带宽 ，从而改善和增强 薄膜的成分和结构。采用紫外一可见 (UV—Vis)分光光 TiO 的光催化活性 。通过对 比发现，非金属掺杂 的 度计测量 了薄膜的吸光度并通过作图计算得到其带隙 TiO。[2 能克服金属掺杂 [5 热稳定性差、易降低紫外 宽度。结果表明，用 cO 作碳源和氧源，可得到 C掺 光区的光催化活性和量子产率低 的缺点 。在非金属掺 杂的Ti一()薄膜 。当掺杂碳时，钛氧膜 中金红石相特征 杂中，c、N被认为是改善 TiO。在可见光范 围内光 电 峰显著减弱，且碳以取代 O原子的形式掺杂在薄膜 中 催化活性较好的掺杂元素。 并促使 TiO相 的出现 。当反应气体为 CO。和 O。共 Khan等 通过用火焰燃烧钛片的方法制备 出掺 存 时，钛原子优 先与氧 原子 结合 并抑制 TiO相 的形 碳的TiO ，之后碳掺杂 的TiO 的研究就变得异常活 成。碳 的掺入能有效 降低 TiO 带隙宽度 ，使薄膜 的 跃 ，已报道出可采用多种方法制备碳掺杂 TiO 薄膜 ， 吸收边扩展到可见光 区，提 高对可见光 的吸收 。 如高温喷射含 TiC1的葡萄糖溶液 ]，在 CO氛 围中 关键词： CO ；Ti—O薄膜 ；碳掺杂 ；反应磁控溅射 退火 TiO 纳米管 等 。反应磁控溅射法 叩也是常用 中图分类号 ： TB332 文献标识码 ：A 的制备方法之一 ，其具有 晶化容易、膜基结合好 、薄膜 DOI：10．3969／j．issn．1001—9731．2014．2O．028 致密均匀 、重复性好和成分易于控制等优点。 目前 的 溅射法主要是采用钛 、碳双靶溅射或是钛 、碳 复合 ／镶 l 引 言 嵌靶来实现对 TiO。碳 的掺杂 “]，这些方法工艺较 1972年 ，日本科学家 Fujishima和 Honda以二氧 为复杂 ，可控重复性低 。 化钛 (Ti0。)单 晶为 电极光解 了水 ，白此 以来 ，Tioz 因此 ，本文 以CO。气体为碳 、氧源 ，采用工艺简 优异的光催化性能一直高度吸引着研究者们 的兴趣 。 单 、可控性强的磁控溅射法来制备碳掺杂的 Ti—O 薄 TiO。具有化学稳 定性好、光催化活性 良好 、价格相对 膜 ，有关此类研究还鲜有报道 。 低廉 、对人体无毒害作用等优点，作为一种半导体基光 以CO：气体为碳 、氧源主要基于 以下可能的化学 催化材料 ，是众多此类材料 中唯一被认为具有广泛工 反应 。 业应用前景的材料 。但 是 TiO 较宽 的禁带 宽度 ( CO2+ e— CO十 1／2O2+ e(5．57eV) 3．0eV)，只能被紫外光激发 的特点 ，大大 限制 了其对 CO2