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科技時代之鼠_______靜電破壞教：005 ELECTRO STATIC DAMAGE___ THE RETY OF SCIENTIFIC THCHNICAL AGE 資訊系統自動控制已成為這個時代裡不可或缺的工具,高密度積體電 路( HIGH DENSITY IC ) 是這個時代巨人的心臟。靜電破壞 ( ELECTRO-STATIC DAMAGE ) 卻是這個心臟的主要殺手。 它就像一隻時代之鼠,每天都在盜食您努力的成果。 這本講義將討論靜電的影響與防護,內容為: 第一章:靜電對電子工業的影響 。 第二章:靜電防護要領。 第三章:靜電防護器材 。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 第一章 靜電對電子工業的影響 由於科技時代的需要,小體積 、多功能、快速度的積體電路已是目前電子 工業的基本需求 。 為滿足這個要求,高密度積體電路已成為電子工業中不可或缺的元件 。這 種元件的特性是線路間距短、線路面積小,所以能縮短路徑,速度增快,體積減小, 但同時也因為線距縮小,耐壓 ( DIELECTRICAL STRENCTH ) 降低,線路面 積減小,耐流容量 ( AMPERE-CAPACITY ) 減小。如圖 1 所示 靜電放電 ( ELECTRO STATIC DISCHAR-GE ) 的能量,在傳統的元件 中影響甚微,我們不易察覺,但在這些高密度元件中,靜電電場 ( STA-TIC ELECTRIC FIELD ) 及靜電電流 ( ESD CURRENT )卻成為致命的殺手。世 界上各著名精密設備製造業者 ( 如 TI ,IBM,HP, 等) 都已經投入大量的 財力與人力,注意防範這個隱形的殺手。 圖 1.各類晶片的氧化膜 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 1. 何謂靜電 靜電就是靜止的電荷 。 任何物質都是由原子組合而成,而原子的基本結構為質子、中 子及電子 (如圖2 所示) 。質子與中子因質量較高,結合力強 、不 易分離, 密聚在一起稱為原子核。電子之質量甚小,環繞於原子核 外。依其電氣的特性,科學家們將質子定義為正電,中子因不具電 氣特性,稱不帶電,電子的電氣特性與質子相反,為帶負電。在正常 狀況下,一個原子的質子數與電子數量相同,正負平衡,所以對外表 現出不帶電的現象。但是電子環繞於原子核周圍,一經外力即脫離 軌道,離開原來的原子A,而侵入其它的原子B , A 原子因缺少電子 數而帶有正電現象,稱為陽離子,B 原子因增加電子數而呈帶負電 現象,稱為陰離子。 ( 如圖3 所示 ) 圖2. 原子結構 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 (n-a)×